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发明公开
用于从扫描数据中提取样品的结构数据的系统和方法审中-公开

公开(公告)号：CN118647863A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202280090698.3

申请日：2022-02-09

申请人： 耶达研究与发展有限公司

发明人： 迈克尔·埃尔鲍姆 , S·赛弗 , 洛塔尔·霍本

IPC分类号： G01N23/041 , G01N23/2251

摘要： 提出了一种用于确定样品的结构图像的计算机系统。该计算机系统被配置为接收和处理原始测量数据，该原始测量数据由扫描显微镜产生并且指示至少一个扫描数据集(IM)N，该至少一个扫描数据集在扫描过程中采集并且对应于位于扫描显微镜的焦平面附近的样品上的A个测量结果的序列。每个测量结果包括由与M区段检测器(M≥3)相关联的M个检测通道提供的数据。该计算机系统包括数据分析器，该数据分析器能够处理至少一个扫描数据集以补偿对于散焦平面处的样品特征的由轴外检测通道引起的图像偏移，从而获得指示样品的经视差校正的扫描图像的数据，该数据使得能够将相位信息和深度信息分离并且能够从单次扫描数据集中提取样品的深度衬度图像。