公开(公告)号：CN101427345A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200780014619.6

申请日：2007-04-13

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 塔瑞克·法薛 ,  詹姆斯·卡罗尔 ,  克劳斯·佩特利 ,  戴尔·史东 ,  莉德蜜菈·史东 ,  达夫·威德史潘

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67201 ,  Y10S414/139

摘要： 本发明公开了一种用于加压装载室的控制件。该控制件通过将气体源连接到装载室内部而开始对装载室内部进行加压。代表性的装载室包括压力传感器和到大气的多个阀，其中至少一个这样的阀为用于将工件从装载室内部移除和将工件插入装载室内部的通过阀。第二快速作用阀也打开至大气。监测装载室内部内的压力上升，并且当压力达到大气压以上的阀值压力时，将快速作用阀开口至大气。第二快速作用阀被构造成在打开通过阀之前从通过阀释放过压。在机器人的辅助下完成工件的移动，当该机器人或者存放工件或者收回工件时，机器人进入装载室内部。此系统和过程最小化了装载室内部的颗粒污染，并且最小化了在通过阀附近的装载室和任何被规定进度的工件的外侧区域内的污染。