公开(公告)号：CN102067301B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200980114618.8

申请日：2009-04-23

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： W·李 ,  马文·拉封丹 ,  阿施文·普鲁黑特 ,  约瑟夫·吉莱斯皮 ,  多诺万·贝克尔 ,  陶滕超 ,  亚历山大·斯洛克姆 ,  萨弥尔·奈弗

IPC分类号： H01L21/683

CPC分类号： H01L21/6831

摘要： 本发明提出一种静电夹器，其具有一夹持板，其中，夹持板具有一中央区域与一环状区域。多个气体供应孔口是设置于夹持板的中央区域，其中，多个气体供应孔口是流体连通于一加压气体供应器，且加压气体供应器是构成以经由多个气体供应孔口而提供夹持表面与工件之间的一气垫于夹持板的中央区域。一个或多个气体返回孔口是设置于夹持板的中央区域与环状区域的一个或多个，其中，一个或多个气体返回孔口是流体连通于一真空源，在其中大致设置了用于气垫的一排气路径。一密封是配置于夹持板的环状区域，其中，密封是构成以大致防止气垫自中央区域泄漏至环状区域的外部环境。一个或多个电极进而电连接至一第一电压电位以提供一第一夹持力。

公开(公告)号：CN102067301A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980114618.8

申请日：2009-04-23

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： W·李 ,  马文·拉封丹 ,  阿施文·普鲁黑特 ,  约瑟夫·吉莱斯皮 ,  多诺万·贝克尔 ,  陶滕超 ,  亚历山大·斯洛克姆 ,  萨弥尔·奈弗

IPC分类号： H01L21/683

CPC分类号： H01L21/6831

摘要： 本发明提出一种静电夹器，其具有一夹持板，其中，夹持板具有一中央区域与一环状区域。多个气体供应孔口是设置于夹持板的中央区域，其中，多个气体供应孔口是流体连通于一加压气体供应器，且加压气体供应器是构成以经由多个气体供应孔口而提供夹持表面与工件之间的一气垫于夹持板的中央区域。一个或多个气体返回孔口是设置于夹持板的中央区域与环状区域的一个或多个，其中，一个或多个气体返回孔口是流体连通于一真空源，在其中大致设置了用于气垫的一排气路径。一密封是配置于夹持板的环状区域，其中，密封是构成以大致防止气垫自中央区域泄漏至环状区域的外部环境。一个或多个电极进而电连接至一第一电压电位以提供一第一夹持力。