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公开(公告)号：CN102292791A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005104.1
申请日：2010-01-22
申请人： 艾克塞利斯科技公司
发明人： 马文·法利 , 罗纳德·博尔纳 , 杰弗里·莱丁 , 西奥多·斯米克 , 高尾坂濑 , 罗纳德·霍纳 , 爱德华·艾伊斯勒 , 布赖恩·弗瑞尔 , 马克·朗伯 , 多诺万·贝克尔 , 保罗·艾德
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/024 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542
摘要： 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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公开(公告)号：CN102292791B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201080005104.1
申请日：2010-01-22
申请人： 艾克塞利斯科技公司
发明人： 马文·法利 , 罗纳德·博尔纳 , 杰弗里·莱丁 , 西奥多·斯米克 , 高尾坂濑 , 罗纳德·霍纳 , 爱德华·艾伊斯勒 , 布赖恩·弗瑞尔 , 马克·朗伯 , 多诺万·贝克尔 , 保罗·艾德
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/024 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542
摘要： 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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公开(公告)号：CN102067301A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980114618.8
申请日：2009-04-23
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6831
摘要： 本发明提出一种静电夹器，其具有一夹持板，其中，夹持板具有一中央区域与一环状区域。多个气体供应孔口是设置于夹持板的中央区域，其中，多个气体供应孔口是流体连通于一加压气体供应器，且加压气体供应器是构成以经由多个气体供应孔口而提供夹持表面与工件之间的一气垫于夹持板的中央区域。一个或多个气体返回孔口是设置于夹持板的中央区域与环状区域的一个或多个，其中，一个或多个气体返回孔口是流体连通于一真空源，在其中大致设置了用于气垫的一排气路径。一密封是配置于夹持板的环状区域，其中，密封是构成以大致防止气垫自中央区域泄漏至环状区域的外部环境。一个或多个电极进而电连接至一第一电压电位以提供一第一夹持力。
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公开(公告)号：CN101517725A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780030643.9
申请日：2007-08-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/68764
摘要： 本发明提供一种离子注入设备、系统和用于将工件保持装置连接并断开到扫描臂的方法。提供一种扭转头，其中静电夹盘可操作地被安装，其中与一个或多个扭转头和静电夹盘结合的一个或多个旋转和非旋转部件具有一个或多个与其结合的动态流体密封。静电夹盘还可操作地从扭转头上去除，而不需要断开一个或多个动态流体密封。
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公开(公告)号：CN102067301B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200980114618.8
申请日：2009-04-23
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6831
摘要： 本发明提出一种静电夹器，其具有一夹持板，其中，夹持板具有一中央区域与一环状区域。多个气体供应孔口是设置于夹持板的中央区域，其中，多个气体供应孔口是流体连通于一加压气体供应器，且加压气体供应器是构成以经由多个气体供应孔口而提供夹持表面与工件之间的一气垫于夹持板的中央区域。一个或多个气体返回孔口是设置于夹持板的中央区域与环状区域的一个或多个，其中，一个或多个气体返回孔口是流体连通于一真空源，在其中大致设置了用于气垫的一排气路径。一密封是配置于夹持板的环状区域，其中，密封是构成以大致防止气垫自中央区域泄漏至环状区域的外部环境。一个或多个电极进而电连接至一第一电压电位以提供一第一夹持力。
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公开(公告)号：CN101517725B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200780030643.9
申请日：2007-08-13
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/68764
摘要： 本发明提供一种离子注入设备、系统和用于将工件保持装置连接并断开到扫描臂的方法。提供一种扭转头，其中静电夹盘可操作地被安装，其中与一个或多个扭转头和静电夹盘结合的一个或多个旋转和非旋转部件具有一个或多个与其结合的动态流体密封。静电夹盘还可操作地从扭转头上去除，而不需要断开一个或多个动态流体密封。
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