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公开(公告)号:CN101253613A
公开(公告)日:2008-08-27
申请号:CN200680031841.2
申请日:2006-07-31
申请人: 芝浦机械电子株式会社
CPC分类号: H01L21/67092 , H05K13/0409
摘要: 一种半导体芯片的拾取装置,对粘贴在粘接片上的半导体芯片进行拾取,其特征在于,具有:支撑体,上表面被形成为吸附面,该吸附面吸附保持粘接片(2)的被拾取的半导体芯片(3)的周边部分;推起轴(23),可以沿着上下方向驱动地设置在支撑体内,推起粘接片的粘贴有被拾取的半导体芯片的部分,且具有从支撑体的上表面推起半导体芯片的下部吸附喷嘴体(27);及吸附喷嘴体(4),吸附保持被拾取的半导体芯片的上表面,且从粘接片上拾取通过顶起轴而顶起的半导体芯片。
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公开(公告)号:CN100565831C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200680031841.2
申请日:2006-07-31
申请人: 芝浦机械电子株式会社
CPC分类号: H01L21/67092 , H05K13/0409
摘要: 一种半导体芯片的拾取装置,对粘贴在粘接片上的半导体芯片进行拾取,其特征在于,具有:支撑体,上表面被形成为吸附面,该吸附面吸附保持粘接片(2)的被拾取的半导体芯片(3)的周边部分;推起轴(23),可以沿着上下方向驱动地设置在支撑体内,推起粘接片的粘贴有被拾取的半导体芯片的部分,且具有从支撑体的上表面推起半导体芯片的下部吸附喷嘴体(27);及吸附喷嘴体(4),吸附保持被拾取的半导体芯片的上表面,且从粘接片上拾取通过顶起轴而顶起的半导体芯片。
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