半导体芯片的拾取装置及拾取方法

    公开(公告)号:CN101253613A

    公开(公告)日:2008-08-27

    申请号:CN200680031841.2

    申请日:2006-07-31

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/52

    CPC分类号: H01L21/67092 H05K13/0409

    摘要: 一种半导体芯片的拾取装置,对粘贴在粘接片上的半导体芯片进行拾取,其特征在于,具有:支撑体,上表面被形成为吸附面,该吸附面吸附保持粘接片(2)的被拾取的半导体芯片(3)的周边部分;推起轴(23),可以沿着上下方向驱动地设置在支撑体内,推起粘接片的粘贴有被拾取的半导体芯片的部分,且具有从支撑体的上表面推起半导体芯片的下部吸附喷嘴体(27);及吸附喷嘴体(4),吸附保持被拾取的半导体芯片的上表面,且从粘接片上拾取通过顶起轴而顶起的半导体芯片。

    半导体芯片的拾取装置及拾取方法

    公开(公告)号:CN100565831C

    公开(公告)日:2009-12-02

    申请号:CN200680031841.2

    申请日:2006-07-31

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/52

    CPC分类号: H01L21/67092 H05K13/0409

    摘要: 一种半导体芯片的拾取装置,对粘贴在粘接片上的半导体芯片进行拾取,其特征在于,具有:支撑体,上表面被形成为吸附面,该吸附面吸附保持粘接片(2)的被拾取的半导体芯片(3)的周边部分;推起轴(23),可以沿着上下方向驱动地设置在支撑体内,推起粘接片的粘贴有被拾取的半导体芯片的部分,且具有从支撑体的上表面推起半导体芯片的下部吸附喷嘴体(27);及吸附喷嘴体(4),吸附保持被拾取的半导体芯片的上表面,且从粘接片上拾取通过顶起轴而顶起的半导体芯片。