公开(公告)号：CN116224896A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202310159326.8

申请日：2023-02-23

申请人： 芯三代半导体科技(苏州)有限公司

发明人： 向阳 ,  蒲勇 ,  施建新 ,  刘中良 ,  叶成勇

IPC分类号： G05B19/05

摘要： 本申请公开一种碳化硅外延设备的连锁控制系统及控制方法。该系统包括PLC控制模块、硬件连锁装置、上位机及传感器，该PLC控制模块包括连锁处理模块，其连接输出映射模块及信号输出模块，该上位机具有连锁处理模块，其连接逻辑处理模块及信号输出模块，该PLC控制模块通过Ethernet或者其他实时总线电性连接上位机；该系统通过在上位机、PLC控制模块中分别增加匹配对应的连锁处理模块，该连锁处理模块的连锁逻辑和硬件连锁装置中连锁处理模块的连锁逻辑一致，这样当硬件连锁装置失效时连锁系统仍能作用，最大程度的提高外延设备的安全性，可有效避免硬件连锁装置失效时面临安全隐患。

公开(公告)号：CN116026481A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202211659458.9

申请日：2022-12-22

申请人： 芯三代半导体科技(苏州)有限公司

发明人： 蒋家旺 ,  刘中良 ,  蒲勇

IPC分类号： G01J5/53 ,  G01K15/00

摘要： 本申请公开一种光纤高温计用高温校准炉及校正方法。该高温校准炉包括：电阻丝炉膛模块包括：外壳，其内具有收纳下炉膛、中炉膛及上炉膛的容置腔体，该中炉膛的截面呈H形，下炉膛及上炉膛分别有匹配的凸起，中炉膛的中部具有沿其轴向贯穿的通孔；电阻丝镶嵌在中炉膛中且呈螺旋形设置，电阻丝的两端经引线电性连接外壳上的电阻丝接线端子；测温管设置于下炉膛的顶面，且沿中炉膛的中轴线设置，测温管内设置有沿其轴向设置的热电偶固定杆，热电偶固定杆的端部设置有电性连接至电控模块的温控器的热电偶；沿上炉膛的轴向中线设置有连通测温管的出温筒，且出温筒对着光纤高温计。该高温校准炉能节约校正时间且易操作。

公开(公告)号：CN219225018U

公开(公告)日：2023-06-20

申请号：CN202223092439.0

申请日：2022-11-21

申请人： 芯三代半导体科技(苏州)有限公司

发明人： 刘中良 ,  向阳 ,  张勇

IPC分类号： G01R31/327

摘要： 本申请公开一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路。该检测电路，包括：第一磁性开关传感器、第二磁性开关传感器、第一光耦，第一与非门及第二光耦，所述第一磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第二接脚，所述第一光耦的第一接脚电性连接至第一供电端，所述第二磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第三接脚，所述第一光耦的第四接脚电性连接至第一供电端，所述第一光耦的第五接脚电性接地、所述第六接脚及第七接脚电性连接所述第一与非门、第八接脚电性连接至第三供电端，所述第一与非门的输出端电性连接所述第二光耦，所述第二光耦输出检测信号，并传输至PLC模块。该电路能保证信号传输的稳定性和可靠性。