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发明公开
一种晶圆片的固定载具审中-实审

公开(公告)号：CN114864470A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210455068.3

申请日：2022-04-27

申请人： 苏州科韵激光科技有限公司

发明人： 崔剑锋 , 陈盟 , 饶立刚 , 张洪华 , 陈博瑞

IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687

摘要： 本发明公开了一种晶圆片的固定载具，涉及半导体加工技术领域。该固定载具包括第一载台与第二载台。所述第一载台包括第一支撑台，所述第一支撑台凹设有弧形的支撑部，所述支撑部的弧度小于所述晶圆片的弧度，所述第一支撑台环绕所述支撑部间隔开设有若干个第一吸附孔；所述第二载台包括第二支撑台，所述第二支撑台的支撑面开设有若干个第二吸附孔。该晶圆片的固定载具能够同时固定两种翘曲程度不同的晶圆片，且不需要针对晶圆片的翘曲程度而校准对应的载台，从而大大提高了生产效率。