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公开(公告)号:CN116009146A
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202211292650.9
申请日:2022-10-20
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
摘要: 本公开的各实施例总体上涉及光学谐振器系统、窄带中红外辐射源和流体传感器。一种光学谐振器系统包括:具有用于引导IR辐射的多个间隔开的半导体条的多条波导结构;STP谐振结构,其中STP谐振结构包括半导体条和中间介电条的交替布置并且包括在STP谐振结构的边界区域处与半导体条相邻的金属条,其中金属条和相邻半导体条被布置为在STP谐振结构的边界区域处提供金属半导体界面,并且其中多条波导结构的半导体条和STP谐振结构的半导体条被布置为在公共系统平面中彼此垂直;以及具有半导体层的光耦合结构,其中半导体层布置在多条波导结构与STP谐振结构之间以将IR辐射光耦合在多条波导结构与STP谐振结构之间。