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公开(公告)号：CN116009146A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211292650.9
申请日：2022-10-20
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
摘要： 本公开的各实施例总体上涉及光学谐振器系统、窄带中红外辐射源和流体传感器。一种光学谐振器系统包括：具有用于引导IR辐射的多个间隔开的半导体条的多条波导结构；STP谐振结构，其中STP谐振结构包括半导体条和中间介电条的交替布置并且包括在STP谐振结构的边界区域处与半导体条相邻的金属条，其中金属条和相邻半导体条被布置为在STP谐振结构的边界区域处提供金属半导体界面，并且其中多条波导结构的半导体条和STP谐振结构的半导体条被布置为在公共系统平面中彼此垂直；以及具有半导体层的光耦合结构，其中半导体层布置在多条波导结构与STP谐振结构之间以将IR辐射光耦合在多条波导结构与STP谐振结构之间。
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公开(公告)号：CN118392808A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410100367.4
申请日：2024-01-24
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/3577
摘要： 一种用于检测目标流体的流体传感器，包括：用于发射宽带热辐射的多个热辐射发射器；被配置为引导从多个热辐射发射器发射的经发射的热辐射的波导结构，其中被引导的热辐射包括用于与包括目标流体的周围大气相互作用的倏逝场分量；耦合到波导结构的光学滤波器结构，其中光学滤波器结构被配置为对由热辐射发射器发射的宽带热辐射进行滤波并且提供具有中心波长的滤波热辐射；被配置为基于从波导结构接收的滤波热辐射的辐射强度来提供检测器输出信号的热辐射检测器；以及用于将多个热辐射发射器与电源连接的致动器件，电源用于在致动条件下向热辐射发射器提供电能，使得多个热辐射发射器具有在400至1300K之间的操作温度。
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公开(公告)号：CN116577297A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310053458.2
申请日：2023-02-03
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/3577 , B81B7/02 , B81C1/00
摘要： 本公开涉及单片式流体传感器系统及其制造方法。单片式流体传感器系统包括：传感器构件，具有在传感器基板的第一主表面区域上的热辐射发射器、滤光器结构、波导结构和热辐射检测器；覆盖基板，凹部布置在接合到与传感器基板的第一主表面区域的覆盖基板的第一主表面区域中，贯穿式开口布置在凹部与其第二主表面区域之间，传感器构件布置在凹部下方；参考传感器构件，具有在其第一主表面区域上的参考热辐射发射器、参考滤光器结构、参考波导结构和参考热辐射检测器；和参考覆盖基板，参考凹部布置在接合到参考传感器基板的第一主表面区域的参考覆盖基板的第一主表面区域中，参考凹部形成用于参考传感器构件的密封腔。
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公开(公告)号：CN115597714A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202210608867.X
申请日：2022-05-31
申请人： 英飞凌科技股份有限公司(DE)
摘要： 本公开的各实施例总体上涉及用于检测引导热辐射的传感器和方法。一种流体传感器，包括具有顶部主表面区域的支撑结构，其中，支撑结构的顶部主表面区域形成传感器的公共系统平面。该流体传感器还包括在支撑结构的顶部主表面区域上的热发射器，其中，热发射器被配置为沿平行于系统平面的至少两个不同辐射发射方向发射热辐射。此外，流体传感器包括：热辐射检测器，在支撑结构的顶部主表面区域上，其中，热辐射检测器被配置为检测热辐射；以及波导结构，在支撑结构的顶部主表面区域上具有第一波导部段和第二波导部段。
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公开(公告)号：CN115435909A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210609124.4
申请日：2022-05-31
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
摘要： 一种用于执行参考测量的流体传感器，流体传感器包括具有顶部主表面区域的支撑结构，其中，支撑结构的顶部主表面区域构成传感器的公共系统平面。此外，流体传感器包括在支撑结构的顶部主表面区域上的热发射器，其中，热发射器被配置为发射热辐射。流体传感器还包括支撑结构的顶部主表面区域上的第一波导部段、和支撑结构的顶部主表面区域上的第一热辐射检测器、以及第一波导部段的至少一部分上的盖结构，其中，盖结构被配置为密封第一波导部段的至少一部分。此外，第一波导部段被配置为将由热发射器发射的热辐射的第一部分引导到第一热辐射检测器，并且第一热辐射检测器被配置为检测被引导的热辐射的第一部分以执行参考测量。
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