公开(公告)号：CN110567494B

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN201910381949.3

申请日：2019-05-09

Applicant: 苹果公司

Inventor： S·弗吕格尔 ,  A·J·萨顿 ,  B·T·布拉德福德 ,  Y·格尔森

IPC: G01D5/24 ,  G01B7/00

Abstract: 本发明题为“用于电容式驱动MEMS设备的电容式位置感测”。一种用于在梳状驱动致动器中进行驱动和位置感测的装置包括发生器、驱动器电路、感测电路和信号处理电路。发生器被配置为将感测电压施加到梳状驱动致动器的第一电极。驱动器电路被配置为向梳状驱动致动器相对于第一电极具有相反极性的第二电极施加驱动电压。感测电路被配置为在第二电极处测量由施加到第一电极的感测电压引起的所感测波形。信号处理电路被配置为基于所感测波形估计第一电极相对于第二电极的位置。

公开(公告)号：CN110567494A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201910381949.3

申请日：2019-05-09

Applicant: 苹果公司

Inventor： S·弗吕格尔 ,  A·J·萨顿 ,  B·T·布拉德福德 ,  Y·格尔森

IPC: G01D5/24 ,  G01B7/00

Abstract: 本发明题为“用于电容式驱动MEMS设备的电容式位置感测”。一种用于在梳状驱动致动器中进行驱动和位置感测的装置包括发生器、驱动器电路、感测电路和信号处理电路。发生器被配置为将感测电压施加到梳状驱动致动器的第一电极。驱动器电路被配置为向梳状驱动致动器相对于第一电极具有相反极性的第二电极施加驱动电压。感测电路被配置为在第二电极处测量由施加到第一电极的感测电压引起的所感测波形。信号处理电路被配置为基于所感测波形估计第一电极相对于第二电极的位置。