用于电容式驱动MEMS设备的电容式位置感测

    公开(公告)号:CN110567494B

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN201910381949.3

    申请日:2019-05-09

    Applicant: 苹果公司

    Abstract: 本发明题为“用于电容式驱动MEMS设备的电容式位置感测”。一种用于在梳状驱动致动器中进行驱动和位置感测的装置包括发生器、驱动器电路、感测电路和信号处理电路。发生器被配置为将感测电压施加到梳状驱动致动器的第一电极。驱动器电路被配置为向梳状驱动致动器相对于第一电极具有相反极性的第二电极施加驱动电压。感测电路被配置为在第二电极处测量由施加到第一电极的感测电压引起的所感测波形。信号处理电路被配置为基于所感测波形估计第一电极相对于第二电极的位置。

    用于集成光子设备的焦平面光学调节

    公开(公告)号:CN114365004A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202080057432.X

    申请日:2020-06-21

    Applicant: 苹果公司

    Abstract: 光学设备(20A、20B、100、200、800)包括设置在半导体基板(218)上并且被配置为发射相应的光辐射束的发射器(28A、28B)的第一阵列。微光学器件(34A、34B、226、802)的第二阵列(36A、36B、224、808)定位成与光发射器的相应的光束对准,并且被布置成调节光束的相位,使得光束中的不同光束以不同的相位质量进行传输。

    用于电容式驱动MEMS设备的电容式位置感测

    公开(公告)号:CN110567494A

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201910381949.3

    申请日:2019-05-09

    Applicant: 苹果公司

    Abstract: 本发明题为“用于电容式驱动MEMS设备的电容式位置感测”。一种用于在梳状驱动致动器中进行驱动和位置感测的装置包括发生器、驱动器电路、感测电路和信号处理电路。发生器被配置为将感测电压施加到梳状驱动致动器的第一电极。驱动器电路被配置为向梳状驱动致动器相对于第一电极具有相反极性的第二电极施加驱动电压。感测电路被配置为在第二电极处测量由施加到第一电极的感测电压引起的所感测波形。信号处理电路被配置为基于所感测波形估计第一电极相对于第二电极的位置。

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