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公开(公告)号：CN112825000B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202011304019.7
申请日：2020-11-19
申请人： CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 本公开涉及温度控制系统(100)，其将控制对象(92)的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度，温度控制系统(100)具备：调整装置(11)，具有罐(11a)，并将热媒调整到设定温度进行供给；循环回路(110)，使热媒从调整装置流通至能够对控制对象进行热供给的流通部(93)，并使热媒返回至调整装置；调整部(12)，调整从流通部向控制对象供给的热量；存储部(80a)，预先存储时间经过与目标温度的关系；控制部，基于上述关系，在比目标温度发生变化的变化时刻提前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度，并且通过调整部调整热量，使得在到达变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前的目标温度。
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公开(公告)号：CN112781432A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011229583.7
申请日：2020-11-06
申请人： CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
摘要： 温度控制系统(200)，其具备供第一热媒循环的第一循环回路(110)；供第二热媒循环的第二循环回路(120)；供第三热媒循环的第三循环回路(130)，第一循环回路具备将第一热媒的温度调整成第一温度后排出的第一调整装置(11)以及第一流通部(114)，第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度后排出的第二调整装置(21)以及第二流通部(124)，第三循环回路具备：与第一流通部进行热交换的第三流通部(133)；与第二流通部进行热交换的第四流通部(134)。温度控制系统还具备调整部(135)，调整第一流通部与第三流通部之间交换的热量及第二流通部与第四流通部之间交换的热量。
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公开(公告)号：CN112781263A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011230678.0
申请日：2020-11-06
申请人： CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
摘要： 温度控制系统(600)，其具备分别供第一热媒、第二热媒、第三热媒循环的第一循环回路、第二循环回路、第三循环回路(110，20，130)，第一循环回路具备：使液体状态的第一热媒膨胀并雾化的第一膨胀部(111)；供第一温度的第一热媒流通的第一流通部(114)；压缩气体状态的第一热媒的第一压缩部(112)；以及使第一热媒冷凝并向第一膨胀部供给的第一冷凝部(113)，第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度来进行供给的第二调整装置(21)以及第二流通部(124)，第三循环回路具备调整在第一流通部与第三流通部(133)间交换的热量以及在第二流通部与第四流通部(134)间交换的热量的调整部(135)。
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公开(公告)号：CN116895557A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310296058.4
申请日：2023-03-24
申请人： 荏原冷热系统株式会社 , CKD株式会社
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供半导体制造装置用的温度调节装置和半导体制造系统，能够使为了将半导体制造装置设为目标温度所需要的加热部和冷却部的热动力降低。温度调节装置具备：加热部，其生成加热液；冷却部，其生成冷却液；加热液输送管，其用于向半导体制造装置输送加热液；冷却液输送管，其用于向半导体制造装置输送冷却液；加热侧返回管，其用于使通过了半导体制造装置后的加热液与冷却液的混合液返回加热部；冷却侧返回管，其用于使通过了半导体制造装置后的混合液返回冷却部；以及在加热液与混合液之间进行换热的加热侧换热器和在冷却液与混合液之间进行换热的冷却侧换热器中的至少一方。
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公开(公告)号：CN112825000A
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN202011304019.7
申请日：2020-11-19
申请人： CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 本公开涉及温度控制系统(100)，其将控制对象(92)的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度，温度控制系统(100)具备：调整装置(11)，具有罐(11a)，并将热媒调整到设定温度进行供给；循环回路(110)，使热媒从调整装置流通至能够对控制对象进行热供给的流通部(93)，并使热媒返回至调整装置；调整部(12)，调整从流通部向控制对象供给的热量；存储部(80a)，预先存储时间经过与目标温度的关系；控制部，基于上述关系，在比目标温度发生变化的变化时刻提前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度，并且通过调整部调整热量，使得在到达变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前的目标温度。
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公开(公告)号：CN112824792A
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN202011300996.X
申请日：2020-11-19
申请人： CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
摘要： 提供一种冷却系统，具备第一冷却装置和从第一冷却装置供给热媒的多个第二冷却装置，从而抑制冷却系统整体的功耗。冷却系统(100)包括：第一冷却装置(10)，被电力驱动以供给第一设定温度以下的第一热媒；多个第二冷却装置(40A～40C)，具有使从第一冷却装置供给的第一热媒和第二热媒之间进行热交换的热交换部(46)，并被电力驱动以供给第二设定温度以下的第三热媒，其中，第二设定温度根据时间经过而分别改变；以及设定部(70)，获得多个第二冷却装置的第二设定温度，并根据获得的多个第二设定温度可变地设定第一设定温度。
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公开(公告)号：CN107677016A
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201710556492.6
申请日：2017-07-10
申请人： 荏原冷热系统株式会社
IPC分类号： F25B41/00
CPC分类号： F25B41/00 , F25B2400/13
摘要： 本发明提供的经济器，具有较高的气液分离性能并且能够通过大幅度地减少气液分离所需的空间而实现外形尺寸的小型化。该经济器具备：容器；挡板，其在容器内配置于与制冷剂入口对置的位置，供从制冷剂入口流入到容器内的气液二相状态的制冷剂碰撞来进行气液分离；除雾器，其在容器内配置于与气体制冷剂出口对置的位置，将气液分离后的气体制冷剂所包含的液滴去除，挡板由在制冷剂入口与除雾器之间的位置沿铅直方向延伸并将制冷剂入口侧与除雾器侧分隔的分隔板构成，在该分隔板的下端与容器的底部之间设置有第一开口，用于将气液分离后的气体制冷剂与液体制冷剂向除雾器下方的空间引导。
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公开(公告)号：CN107270585A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201610210235.2
申请日：2016-04-06
申请人： 荏原冷热系统株式会社 , 荏原冷热系统(中国)有限公司
CPC分类号： Y02A30/277 , Y02B30/62 , F25B30/04 , F25B49/04 , F25B2600/25
摘要： 本发明提供吸收式热泵，抑制向被加热介质的蒸气的供给对象带出被加热介质的液滴。吸收式热泵具备吸收器、气液分离器、将气液分离器内的被加热介质的液导向吸收器的被加热介质液导入流路、将气液分离器、被加热介质液导入流路以及吸收器的至少一个的内部的被加热介质的液向吸收式热泵外放出的排出阀、检测气液分离器内的液位的液位检测器、供给被加热介质的液的被加热介质液供给装置、控制被加热介质液供给装置的起动及停止以及排出阀的开闭的控制装置。在液位检测器检测到高液位的时间持续第1规定的时间时，控制装置打开排出阀直至液位检测器检测到的液位下降至低于高液位为止。
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公开(公告)号：CN106895600A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201611062956.X
申请日：2016-11-25
申请人： 荏原冷热系统株式会社
摘要： 本发明提供的吸收式热泵，不使安全阀工作就能够抑制蒸气生成部的压力过度上升。利用吸收液与制冷剂的吸收式热泵循环，汲取所导入的热源流体的热量来生成被加热介质的蒸气的吸收式热泵具备：蒸气生成部，其生成向需要对象供给的被加热介质的蒸气；压力检测部，其检测蒸气生成部的压力；安全阀，其设置于使在蒸气生成部生成的被加热介质的蒸气向需要对象流出的供给蒸气管或者蒸气生成部；蒸气排放阀，其设置于供给蒸气管或者蒸气生成部；控制装置，其在由压力检测部检测出的压力超过蒸气生成部的目标压力且在比安全阀打开的压力小的第一规定压力以上时，打开蒸气排放阀。
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公开(公告)号：CN103363713B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310104857.3
申请日：2013-03-28
申请人： 荏原冷热系统株式会社
IPC分类号： F25B15/00
CPC分类号： Y02A30/277 , Y02B30/62
摘要： 本发明提供吸收式热泵，容易进行吸收器的检查。吸收式热泵（1）具备：具有在内部利用溶液（Sa）吸收制冷剂蒸汽（Ve）的吸收器罐体（17）的吸收器（10）；具有在内部使制冷剂（V）从溶液（Sw）脱离的再生器罐体（37）的再生器（30）；具有在内部使制冷剂蒸汽（Vg）凝结的冷凝器罐体（47）的冷凝器（40）；以及具有在内部生成制冷剂蒸汽（Ve）的蒸发器罐体（27）的蒸发器（20），吸收器罐体（17）与再生器罐体（37）、冷凝器罐体（47）、以及蒸发器罐体（27）分离而单独地构成，并且设置成接近构造物的安装面。而且，能够容易接近检查的频率比较高的吸收器罐体（17），并且能够仅更换吸收器罐体（17）。
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