公开(公告)号：CN116057444A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202080104046.1

申请日：2020-08-11

Applicant: 莱卡微系统CMS有限责任公司

Inventor： 希尔玛·古格尔

IPC: G02B21/00

Abstract: 一种用于在光学装置(200)中分离照明光(204)和检测光(206)的光束分离设备(202、402、502)，包括：被配置为提供照明光(204)的光供应单元(208)，照明光包括波长在第一波长范围内的第一照明光(212)和波长在第二波长范围内的第二照明光(214)，第一和第二波长范围彼此分离；声光组件(216)，可调谐以衍射具有第一波长范围内的选择的波长的第一照明光(212)的至少一个光谱分量，以生成预定衍射级的至少一个照明光光束(234)，同时无衍射地透射第二波长范围内的第二照明光(214)；以及光耦合单元(218、418、518)，被配置为将第一照明光(212)和第二照明光(214)从光供应单元(208)耦合到声光组件(216)。光供应单元(208)被配置为将第一照明光(212)和第二照明光(214)共线地供应给光耦合单元(218、418、518)。光耦合单元(218、418、518)被配置为在空间上分离第一照明光(212)和第二照明光(214)，以将第一照明光(212)和第二照明光(214)沿不同的光传播方向引导到声光组件(216)。

公开(公告)号：CN115753697A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211071010.5

申请日：2022-09-02

Applicant: 莱卡微系统CMS有限责任公司

Inventor： 希尔玛·古格尔 ,  英戈·博姆

IPC: G01N21/63 ,  G01N21/65 ,  G01N21/01 ,  G01N21/21 ,  G02B27/28 ,  G02B21/00

Abstract: 用于检查样品的光学设备包括照明单元和检测单元，照明单元将照明波长范围内的照明光发射到样品上，检测单元收集来自样品的在检测波长范围内的检测光。照明波长范围和检测波长范围在中间波长范围内部分重叠。光分离装置包括分束器。分束器具有：第一分束特性，在不包括中间波长范围的照明波长范围内对至少第一偏振态的光进行透射和反射中的一种；偏振相关的第二分束特性，在中间波长范围内对第一偏振态的光进行透射和反射中的所述一种，并且对第二偏振态的光进行透射和反射中的另一种；第三分束特性，在不包括中间波长范围的检测波长范围内对具有第一偏振态和第二偏振态的光进行透射和反射中的所述另一种。