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公开(公告)号：CN115753697A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211071010.5
申请日：2022-09-02
Applicant: 莱卡微系统CMS有限责任公司
Abstract: 用于检查样品的光学设备包括照明单元和检测单元，照明单元将照明波长范围内的照明光发射到样品上，检测单元收集来自样品的在检测波长范围内的检测光。照明波长范围和检测波长范围在中间波长范围内部分重叠。光分离装置包括分束器。分束器具有：第一分束特性，在不包括中间波长范围的照明波长范围内对至少第一偏振态的光进行透射和反射中的一种；偏振相关的第二分束特性，在中间波长范围内对第一偏振态的光进行透射和反射中的所述一种，并且对第二偏振态的光进行透射和反射中的另一种；第三分束特性，在不包括中间波长范围的检测波长范围内对具有第一偏振态和第二偏振态的光进行透射和反射中的所述另一种。
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