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发明公开
涂覆保护层的MEMS装置无效

公开(公告)号：CN1511253A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN02810304.1

申请日：2002-01-29

申请人： 西加特技术有限责任公司

发明人： Z·-E·鲍塔格豪 , R·L·希普韦尔 , W·A·博宁

IPC分类号： G01N19/06 , H01L21/20

CPC分类号： B81B3/0035 , B81B2203/0118 , B81B2207/115

摘要： 一种通过用韧性材料，诸如金属，保护涂覆微型元件改善由硅形成的微型元件的强度的方法。保护涂层可以包括部分保护涂层或整体保护涂层。向所述微型元件提供保护涂层可减少破裂和断裂，并同样地可减少由破裂和断裂所产生的玷污问题。