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公开(公告)号：CN105549199A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610065383.X
申请日：2016-01-30
申请人： 西北工业大学
CPC分类号： G02B26/0816 , B81B3/00 , B81C1/00 , B81C3/00 , G02B26/001
摘要： 本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6。本发明提出的基于PCB的电磁驱动双向调谐珐珀滤波器具有大的可调谐范围，能大幅度增加器件的工作波段，大幅度减小珐珀滤波器的整体尺寸。通过调节不同子多层线圈内电流的大小和方向可以微调器件的可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时，其制作工艺采用3D打印、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
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公开(公告)号：CN106383377A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201610784533.2
申请日：2016-08-31
申请人： 西北工业大学
CPC分类号： G02B5/284 , G02B26/001
摘要： 本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准印刷电路板加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
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公开(公告)号：CN105425384B
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201510764692.1
申请日：2015-11-11
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G02B26/00
摘要： 本发明公开了一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器，主要包括可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、第一反射镜8、第二反射镜14、永磁体16和线圈6，所述部件均容纳于箱体1和盖板5形成的空腔内。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
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公开(公告)号：CN105425384A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510764692.1
申请日：2015-11-11
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G02B26/00
CPC分类号： G02B26/001
摘要： 本发明公开了一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器，主要包括可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、第一反射镜8、第二反射镜14、永磁体16和线圈6，所述部件均容纳于箱体1和盖板5形成的空腔内。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
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公开(公告)号：CN106383377B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201610784533.2
申请日：2016-08-31
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准印刷电路板加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
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公开(公告)号：CN105549199B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201610065383.X
申请日：2016-01-30
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6。本发明提出的基于PCB的电磁驱动双向调谐珐珀滤波器具有大的可调谐范围，能大幅度增加器件的工作波段，大幅度减小珐珀滤波器的整体尺寸。通过调节不同子多层线圈内电流的大小和方向可以微调器件的可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时，其制作工艺采用3D打印、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
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