公开(公告)号：CN105334561B

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201510783816.0

申请日：2012-04-11

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 佐野朗 ,  松野靖史

IPC分类号： G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G01J3/02

CPC分类号： G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G02B5/28 ,  G02B5/284 ,  G02B5/285

摘要： 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，以与第一基板相对的方式配置；第一反射膜，配置在第一基板和第二基板之间；第二反射膜，配置在第二基板和第一反射膜之间；以及第一电极，用于除去第一反射膜的带电，在从第二基板侧看第一基板侧时，具有第一反射膜和第二反射膜重合的第一区域以及第一反射膜和第一电极的至少一部分重合的第二区域，第二区域的第一基板和第二基板之间的距离比第一区域的第一基板和第二基板之间的距离大。

公开(公告)号：CN104570325B

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：CN201410545539.5

申请日：2014-10-15

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 久利龙平

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B5/26 ,  G02B5/284

摘要： 本发明提供光学元件、光学装置以及电子设备。光学元件(5)包括：导电性的固定反射膜；与固定反射膜(54)相对的可动反射膜(55)；设置于固定反射膜(54)的与可动反射膜(55)相反侧上的透光性的第二绝缘膜(573)；以及设置在第二绝缘膜(573)的与固定反射膜(54)相反侧上、且在从固定反射膜(54)和可动反射膜(55)的膜厚方向观察的元件俯视观察中，位于固定反射膜(54)、可动反射膜(55)及第二绝缘膜(573)互相重叠的区域内，接收由固定反射膜(54)出射的光的受光部(58)。

公开(公告)号：CN105259603A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201510624769.5

申请日：2011-04-19

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 新东晋 ,  佐野朗

IPC分类号： G02B5/28 ,  G02B26/00

CPC分类号： G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G02B5/284

摘要： 本发明提供了一种滤光器元件、滤光器模块及分析设备。该滤光器元件具有设置在第一基板上的第一电极、设置在第二基板上并与上述第一基板相对的第二电极、与上述第一电极连接的一对第一引出电极以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。

公开(公告)号：CN104471448A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201380033712.7

申请日：2013-04-25

申请人： 那慕尔大学

发明人： J-P·维格内隆 ,  O·德帕瑞斯 ,  P·西蒙尼斯 ,  E·盖格内奥斯 ,  M·N·格哈泽尔 ,  J·德考尼克 ,  H·克贝利

IPC分类号： G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G02F1/19 ,  G02B6/35

CPC分类号： G02B26/004 ,  G02B1/005 ,  G02B5/285 ,  G02B26/08 ,  G02B2207/107 ,  G02B5/284 ,  G02F1/19

摘要： 本发明涉及一种新型功能性多层系统及其在制造诸如检测装置和传感器装置的各种装置中的用途。更具体地，本发明涉及多孔多层系统，该多孔多层系统能够通过在多孔多层系统中引入合适的组分，或者借助通过多孔多层系统进行的合适组分的移置，从透明状态切换至布拉格反射器状态。

公开(公告)号：CN104204944A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380017479.3

申请日：2013-03-05

申请人： 国际商业机器公司

发明人： 丁飞 ,  U·T·迪里希 ,  A·W·科诺尔 ,  R·F·马特 ,  T·H·斯托福尔

IPC分类号： G03F7/00

CPC分类号： G02B5/288 ,  G02B5/0816 ,  G02B5/284 ,  H01L33/10 ,  H01S5/18388 ,  H01S5/18391 ,  Y10T428/24736

摘要： 一种微光学器件(1)的制造方法，所述方法包括：-提供材料层(300)；-用纳米尺度尺寸探针，通过局部地解链和/或解吸其分子，构图所述材料层，以获得材料层的弯曲表面(s2)，所述弯曲表面具有在至少平面剖面((y，z)(x，z))中的弯曲轮廓(21、21’、22)；以及-包括通过提供一个或多个与所述弯曲表面接触的另外的材料层完成层结构，以获得所述微光学器件(1)，后者具有所述层结构，所述层结构的给定层(10)由此包括缺陷(20)，所述缺陷被两个表面划界，其中，所述两个表面的一个为所述弯曲表面(s2)，并且所述至少一个平面剖面((y，z)(x，z))垂直于所述层结构。

公开(公告)号：CN104049293A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410090778.6

申请日：2014-03-12

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 松下友纪

IPC分类号： G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G01J3/46 ,  G01N21/65 ,  G01N21/359

CPC分类号： G02B5/284 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51 ,  G02B26/001

摘要： 本发明提供一种光学滤波器装置、光学模块以及电子设备。该光学滤波器装置具备：壳体，具有能使光射入内侧的光通过孔；光圈，设置于壳体的外侧，用于限制向光通过孔射入的光；以及干涉滤波器，设置于壳体的内侧，具备固定反射膜以及与固定反射膜相对的可动反射膜，其中，在从膜厚方向观察固定反射膜以及可动反射膜的俯视观察中，光圈的开口、光通过孔和固定反射膜以及可动反射膜被设置为重叠，在将靠近光通过孔的固定反射膜的直径设为Φm、将光通过孔的口径设为Φp、将光圈的开口直径设为Φa时，满足Φa

公开(公告)号：CN104020559A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201410004829.9

申请日：2014-01-06

申请人： 京瓷晶体元件有限公司

发明人： 若林小太郎 ,  古坚由纪子 ,  宫崎诗织

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/001 ,  G02B5/28 ,  G02B5/284 ,  G02B6/29358 ,  G02B6/29367 ,  G02B26/00

摘要： 本发明提供一种标准具及标准具装置，能容易地进行透过波形的调节。一种标准具，该标准具在两个一对的透明构件之间夹有环形压电构件的状态下接合而构成，其特征在于，包括：在朝向压电构件侧的面上设有金属膜的透明构件；在朝向透明构件侧的面上设有金属膜的环形压电构件；以及与露出的金属膜相连的外部连接端子，将上述压电构件朝向上述透明构件侧的面与X轴垂直的情况设为0°，并在±10°的范围内进行旋转，且外部连接端子设置在透明构件上。

公开(公告)号：CN102384809B

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201110227369.2

申请日：2011-08-09

申请人： 天津大学

发明人： 江俊峰 ,  刘铁根 ,  尹金德 ,  刘琨 ,  刘宇

IPC分类号： G01L11/02

CPC分类号： G01L11/025 ,  G01L11/02 ,  G02B5/28 ,  G02B5/284 ,  G02B6/29358 ,  G02B26/001

摘要： 无胶封装的高稳定性光纤法布里-珀罗压力传感器及制作方法。传感器包括传感器头、中间带有通孔的传感器体和光纤，传感器头采用四层结构（第一单晶硅片、第一Pyrex玻璃片、第二单晶硅片和第二Pyrex玻璃片）。第一单晶硅片后表面构成法布里-珀罗腔的第一个反射面，第二单晶硅片用于提供法布里-珀罗腔的第二个反射面；第二Pyrex玻璃片与传感器体熔接。光纤采用CO2激光器固定在传感器体中，从而实现无胶封装。当外界压力变化致使第一层单晶硅片变形时，将改变光纤法珀腔的长度，当接入宽带光源后，通过对传感器的反射光谱采集或者低相干干涉条纹的提取，可提取出腔长变化，从而获取压力信息。本结构可有效消除温度、湿度等环境变化的影响，大大提升测量精度。

公开(公告)号：CN102914867A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210417785.3

申请日：2009-12-08

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 花村雄基 ,  舟川刚夫 ,  船坂司

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/001 ,  G02B5/284

摘要： 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

公开(公告)号：CN102736156A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210106425.1

申请日：2012-04-11

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 佐野朗 ,  松野靖史

IPC分类号： G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G01J3/02

CPC分类号： G02B26/001 ,  G01J3/26 ,  G02B5/28 ,  G02B5/284 ,  G02B5/285

摘要： 本发明提供一种波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上，第二反射膜隔着反射膜间间隙与第一反射膜相对；以及第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上，其中，该第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有第一反射膜；以及第一电极面，设置有第一电极，第一电极面与第二基板的距离不同于第一反射膜固定面与第二基板的距离，在第一反射膜固定面和第一电极面的与第二基板的距离大的面上，设置层叠有第一反射膜和第一电极的层叠部。