公开(公告)号：CN117890307A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202311675182.8

申请日：2023-12-08

申请人： 西南技术物理研究所

发明人： 胡卫英 ,  黄海华 ,  陈剑 ,  庞树帅 ,  徐强 ,  张瑞明 ,  谢修敏 ,  黄帅 ,  王路佳 ,  宋海智 ,  吴卫东 ,  鲁平 ,  蒋若梅 ,  谭杨

IPC分类号： G01N21/17 ,  G01N21/01 ,  H01S5/40 ,  H01S5/024 ,  H01S5/02216 ,  H01S5/02315

摘要： 本发明公开了一种小型化光生光谱传感器，其包括集成在一个圆柱体内的激光器、信号采集系统、TEC驱动电路、激光器驱动电路、光生池、MEMS微音处理芯片；激光器采用单边引线的金属蝶形外壳封装，内部集成半导体制冷器、6个激光器芯片、铜制基片和光学系统；半导体制冷器上布置铜制基片，铜制基片上间隔设置凹槽，凹槽内和相邻凹槽之间的突出台面上布置激光器芯片；蝶形封装的一侧为管脚插针，另一层有出光孔，将带激光器芯片的半导体制冷器贴装到蝶形外壳上，最后将金属盖板采用储能封焊工艺完成封装。本发明解决传感器功耗大、集成度低等技术难题，实现传感器对新能源、煤矿、化工等行业气体化学成分的在线监测与离线检测应用。