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发明公开
焦平面探测器铟柱等离子回流成球方法无效

公开(公告)号：CN106816392A

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201611115793.7

申请日：2016-12-07

申请人： 西南技术物理研究所

发明人： 谢和平 , 覃文治 , 石柱 , 代千 , 邓慧中

IPC分类号： H01L21/60

CPC分类号： H01L24/11 , H01L24/81 , H01L2224/113 , H01L2224/81815

摘要： 本发明公开了一种焦平面探测器铟柱等离子回流成球方法，采用氩气和氢气的等离子体对铟柱回流成球的方法。在铟柱回流过程中，利用感应耦合等离子、反应离子刻蚀或其他等离子设备完成对铟柱的回流处理。氩等离子体主要用于清洗样品和击碎铟柱表面的氧化层；氢气等离子体主要用于还原铟柱表面氧化物。该方法不需要助熔剂，方便可靠，对焦平面探测器无任何负面影响，且具有回流工艺易于控制，回流均匀性、重复性好的优势。