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公开(公告)号：CN102657535A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210161620.4
申请日：2012-05-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: A61B5/22
Abstract: 一种柔性脚底力测量系统，包括鞋底，在鞋底四个生理负重点处布置有脚底力传感器，脚底力传感器的电源引线与电源相接，脚底力传感器的信号输出引线与放大电路的输入端相连，放大电路的输出端与多路复用器的输入端相连，多路复用器的输出端与模数转换器的输入端相连，模数转换器的输出端和计算机相连，每个脚底力传感器是将一个绝对压力传感器封装在一个硅橡胶球体中，人体脚底力与地面之间的接触力压缩硅橡胶球，导致其体积变小，该压强变化通过绝对压力传感器测出，依次经过放大电路、多路复用器处理，并将信号传送至模数转换器，最终在计算机中显示波形图，间接测得人体脚底力，本发明具有结构简单，测量精度高，性能可靠的优点。
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公开(公告)号：CN102589762B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201210059808.8
申请日：2012-03-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种梁膜单岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底的中部加工有一质量块和四根单梁，将硅基底、质量块及四根单梁围成的区间加工成10～30μm厚的薄膜，硅基底的背面与Pyrex7740玻璃键合，将质量块的背面减薄使质量块与Pyrex7740玻璃之间在真空环境下留有5-10μm的间隙，同时将Pyrex7740玻璃上的防吸附电极插入键合区域，将薄膜、质量块和Pyrex7740玻璃之间形成的腔体抽真空，在硅基底的正面，四个压敏电阻条相互连接组成半开环惠斯通电桥，四根单梁的引入提高了整体的刚度，再次集中了应力，具有线性好，灵敏度高的特点，同时可以抗500倍的高过载。
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公开(公告)号：CN102589762A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210059808.8
申请日：2012-03-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种梁膜单岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底的中部加工有一质量块和四根单梁，将硅基底、质量块及四根单梁围成的区间加工成10～30μm厚的薄膜，硅基底的背面与Pyrex7740玻璃键合，将质量块的背面减薄使质量块与Pyrex7740玻璃之间在真空环境下留有5-10μm的间隙，同时将Pyrex7740玻璃上的防吸附电极插入键合区域，将薄膜、质量块和Pyrex7740玻璃之间形成的腔体抽真空，在硅基底的正面，四个压敏电阻条相互连接组成半开环惠斯通电桥，四根单梁的引入提高了整体的刚度，再次集中了应力，具有线性好，灵敏度高的特点，同时可以抗500倍的高过载。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102620865B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201210068975.9
申请日：2012-03-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种梁膜双岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底上加工有两个质量块和三根单梁，质量块与硅基底、两个质量块之间均通过单梁连接，将硅基底、质量块及三根单梁围成的空间加工成薄膜，硅基底的背面与Pyrex7740玻璃键合，质量块与Pyrex7740玻璃之间在真空环境下留有间隙，同时将Pyrex7740玻璃上的两个防吸附电极插入键合区域，将薄膜、质量块和Pyrex7740玻璃之间形成的腔体抽真空，在硅基底的正面，四个压敏电阻条相互连接组成开环惠斯通电桥，三根单梁的引入提高了整体的刚度，再次集中了应力，具有线性好，灵敏度高，零位小的特点，同时可以抗500倍的高过载。
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公开(公告)号：CN102620865A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210068975.9
申请日：2012-03-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种梁膜双岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底上加工有两个质量块和三根单梁，质量块与硅基底、两个质量块之间均通过单梁连接，将硅基底、质量块及三根单梁围成的空间加工成薄膜，硅基底的背面与Pyrex7740玻璃键合，质量块与Pyrex7740玻璃之间在真空环境下留有间隙，同时将Pyrex7740玻璃上的两个防吸附电极插入键合区域，将薄膜、质量块和Pyrex7740玻璃之间形成的腔体抽真空，在硅基底的正面，四个压敏电阻条相互连接组成开环惠斯通电桥，三根单梁的引入提高了整体的刚度，再次集中了应力，具有线性好，灵敏度高，零位小的特点，同时可以抗500倍的高过载。
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公开(公告)号：CN102636298B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201210071278.9
申请日：2012-03-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 一种梁膜四岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底上加工有四个质量块、四根单梁及十字梁，质量块通过单梁与硅基底连接，质量块之间通过十字梁连接，将硅基底、质量块、单梁及十字梁围成的空间加工成薄膜，硅基底背面与Pyrex7740玻璃键合，将质量块的背面减薄，使质量块与Pyrex7740玻璃之间留有间隙，同时将Pyrex7740玻璃上的四个防吸附电极插入键合区域，将薄膜、质量块和Pyrex7740玻璃之间形成的腔体抽真空，在硅基底的正面，四个压敏电阻条相互连接组成半开环惠斯通电桥，四根单梁及十字梁的引入提高了整体刚度，再次集中了应力，具有高灵敏度，高线性度的特点，同时可以抗500倍的高过载。
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公开(公告)号：CN102657535B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201210161620.4
申请日：2012-05-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: A61B5/22
Abstract: 一种柔性脚底力测量系统，包括鞋底，在鞋底四个生理负重点处布置有脚底力传感器，脚底力传感器的电源引线与电源相接，脚底力传感器的信号输出引线与放大电路的输入端相连，放大电路的输出端与多路复用器的输入端相连，多路复用器的输出端与模数转换器的输入端相连，模数转换器的输出端和计算机相连，每个脚底力传感器是将一个绝对压力传感器封装在一个硅橡胶球体中，人体脚底力与地面之间的接触力压缩硅橡胶球，导致其体积变小，该压强变化通过绝对压力传感器测出，依次经过放大电路、多路复用器处理，并将信号传送至模数转换器，最终在计算机中显示波形图，间接测得人体脚底力，本发明具有结构简单，测量精度高，性能可靠的优点。
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公开(公告)号：CN102636298A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210071278.9
申请日：2012-03-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 一种梁膜四岛结构微压高过载传感器芯片，包括硅基底，硅基底上加工有四个质量块、四根单梁及十字梁，质量块通过单梁与硅基底连接，质量块之间通过十字梁连接，将硅基底、质量块、单梁及十字梁围成的空间加工成薄膜，硅基底背面与Pyrex7740玻璃键合，将质量块的背面减薄，使质量块与Pyrex7740玻璃之间留有间隙，同时将Pyrex7740玻璃上的四个防吸附电极插入键合区域，将薄膜、质量块和Pyrex7740玻璃之间形成的腔体抽真空，在硅基底的正面，四个压敏电阻条相互连接组成半开环惠斯通电桥，四根单梁及十字梁的引入提高了整体刚度，再次集中了应力，具有高灵敏度，高线性度的特点，同时可以抗500倍的高过载。
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