公开(公告)号：CN114280328A

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202111605043.9

申请日：2021-12-24

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  徐铭柯 ,  徐柳 ,  齐永宏

IPC: G01P15/097 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器，MEMS谐振式加速度传感器由谐振器敏感梁通过杠杆机构与质量块连接形成，能够将外界加速度变化转化为频率偏移量以检测外界加速度的大小。MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器对称分布在加热模块的两侧，加热模块的加热梁通过电流产生电阻热，电阻热通过对称结构传递至MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器。将感温振荡器作为温度感知模块，用其频率来标定温度实现对加速度传感器的温度控制。

公开(公告)号：CN114280328B

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202111605043.9

申请日：2021-12-24

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  徐铭柯 ,  徐柳 ,  齐永宏

IPC: G01P15/097 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器，MEMS谐振式加速度传感器由谐振器敏感梁通过杠杆机构与质量块连接形成，能够将外界加速度变化转化为频率偏移量以检测外界加速度的大小。MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器对称分布在加热模块的两侧，加热模块的加热梁通过电流产生电阻热，电阻热通过对称结构传递至MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器。将感温振荡器作为温度感知模块，用其频率来标定温度实现对加速度传感器的温度控制。

公开(公告)号：CN114785310A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202210466141.7

申请日：2022-04-29

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  徐铭柯 ,  徐柳 ,  齐永宏

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/24

Abstract: 本发明公开了一种硅MEMS谐振器及其本体压阻热实现频率漂移自补偿方法，通过MEMS振荡器激励电极给予谐振器交流电激励信号，频率等于谐振器本身频率使谐振器发生振荡，检测电极将采集的谐振器振荡信号分成两路，一路通过闭环振荡系统以实现闭环振荡，另一路输送给频率读取装置，频率读取装置采集信号频率，并将频率数据实时传输给频率‑电压处理模块，频率‑电压处理模块对信号频率进行处理，将实际频率与设定频率之间的误差转化为电压信号，经过数/模电压转换模块实现电压信号的数模转换，将压电信号输入MEMS谐振结构两端电极，偏置电压发生变化使得MEMS谐振器所产生压阻热发生改变，振荡频率始终稳定在设定频率附近，实现频率漂移的补偿。

公开(公告)号：CN115208318A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202210789288.X

申请日：2022-07-06

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  徐铭柯 ,  徐柳 ,  齐永宏

IPC: H03B5/04 ,  H03L1/02 ,  H03L5/00

Abstract: 本发明公开了一种硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强方法及系统，硅MEMS振荡器的闭环振荡信号利用比较器调节幅度，然后通过加法器与石英振荡器反馈回路的信号耦合后注入石英振荡器，同时石英振荡器通过相同的方式将反馈信号注入硅MEMS振荡器，实现两个单向信号互注入；通过焦耳热调节硅MEMS振荡器频率实现互同步，利用硅材料半导体特性，通过产生的焦耳热和温度‑频率特性实现频率补偿，以提升硅MEMS振荡器的长时稳定性。此时与硅MEMS振荡器实现互同步的石英振荡器长时稳定性亦得到提升；实现硅MEMS振荡器和石英振荡器互同步增强。