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公开(公告)号：CN119024000A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411145861.9
申请日：2024-08-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及微机电系统制造技术领域，尤其是具有应力隔离的MEMS电容式加速度传感器敏感结构及传感器，包括敏感质量块框架、可动电极梳齿、非可动电极梳齿、U形敏感梁、应力隔离结构和止挡结构。当体系受到环境温度变化时，产生的热应力通过应力传递梁和应力集中梁释放，使应力被隔离在敏感的U形敏感弹性梁以外，从而避免影响传感器标度因数，保证其性能的温度一致性；同时，通过与隔离锚点连接的应力集中梁和应力传递梁的设置，实现了对敏感质量块框架远端的支撑，可提升模态分离比、降低交叉轴灵敏度、提升抗过载能力和稳定性，避免受到非敏感轴方向加速度影响。解决现有敏感芯片敏感轴方向检测精度低、稳定性差及应力释放不够彻底的问题。
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公开(公告)号：CN118384808A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410618298.6
申请日：2024-05-17
Applicant: 西安交通大学
IPC: B01J13/00
Abstract: 本发明公开了一种多孔离子凝胶制备方法及其装置，包括气泡产生装置，机械运动装置以及固化干燥系统，气泡产生装置包括气泵和气体管道，氮气由气泵控制输出，通过气体管道导入预聚物溶液；机械运动装置包括一个曲柄滑块机构和电机，通过电机控制曲柄的转动，实现滑块的上下往复运动，带动固定在滑块上的气体管道在溶液中进行周期性运动，由此生成大小可控的气泡；固化系统包括紫外光照射箱、恒温恒湿箱，充满气泡的离子凝胶预聚物溶液通过在紫外光照射箱中光照一分钟后初步定型多孔骨架，再放入恒温恒湿箱中进行干燥处理；本发明可以无污染、快速可控地生成不同孔径尺寸的多孔离子凝胶。
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公开(公告)号：CN112945430B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202110322360.3
申请日：2021-03-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种声表面波高温压力传感器，合金外壳内设置有传感器芯片，传感器芯片上方的合金外壳处设置有压力敏感膜，压力敏感膜通过传力顶针与传感器芯片连接，传感器芯片一侧的合金外壳内设置有接收天线，另一侧对应设置有发射天线。本发明能够在恶劣环境下进行高温压力测量，并且可实现无线无源，灵敏度高，稳定性高，成本低，易于量产。
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公开(公告)号：CN114414844B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202210094929.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明提供法珀光学MEMS加速度敏感芯片、增敏方法及传感器，所述法珀MEMS加速度敏感芯片由可动镜面、腔体、固定镜面组成；所述可动镜面包含固定框架、光子晶体平板质量块、支撑弹簧，其中，可动镜面的表面刻蚀有呈周期性排列的第一通孔形成第一二维光子晶体结构，固定镜面的表面刻蚀有与所述可动镜面相同周期性排列的第二通孔形成第二二维光子晶体结构，所述第一二维光子晶体结构、腔体和第二二维光子晶体结构共同构成法布里珀罗腔。本发明提供的增敏方法可以通过对二维光子晶体通孔的占空比的设计来调节法布里珀罗腔的反射率，进而达到增加加速度传感器灵敏度的作用，此外，该方法具有增敏适用波长范围宽、实现方法简单的优势。
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公开(公告)号：CN114413935A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210096476.4
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01D3/036
Abstract: 本发明提供一种法布里珀罗传感器的噪声抑制系统及方法，包括，光源调制模块通过波形发生器和激光驱动器将光信号调制到高频后通过分光镜分成信号光束和参考光束，信号光束通过法布里珀罗传感器将低频加速度信号调制到高频后和参考光束同时进入参考PD降噪模块。通过参考PD降噪模块将信号光束中的噪声信号通过差分运算去除，保留调制信号和调制信号边带上的加速度信号。同时，由于降噪电路具有高通滤波器特性，因此不会对调制信号进行抑制。将噪声去除后的信号和波形发生器发出的调制信号输入解调模块进行解调，这可以将低频加速度信号从调制信号的边带上还原出来，最终实现参考PD降噪电路在低频领域应用的目标。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112371065A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011304112.8
申请日：2020-11-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: B01J13/02
Abstract: 一种基于声表面波微流控装置的磁性核壳微胶囊生成方法，其声表面波微流控装置包括压电基底，压电基底上设有弧形叉指换能器，压电基底上部贴合有PDMS微流道系统；PDMS微流道系统包括一级T型流道和二级十字型流道；方法是通过调整内相、中间相、外相流速，在T型流道连通口处中间相将内相剪切成微液滴，在十字型流道连通口处外相将包含内相液滴的中间相剪切成核壳结构的微液滴，弧形叉指换能器将声表面波产生的声辐射力作用于内相和中间相界面处，使得界面发生形变,实现对内相液滴大小和壳厚的调控，最后通过紫外光灯照射后形成磁性核壳微胶囊；本发明可以柔性实时调控核壳磁性微胶囊的生成大小以及壳厚。
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公开(公告)号：CN110653014B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201911031384.2
申请日：2019-10-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于表面声波的粒子多层膜结构生成装置，包括压电基底，压电基底上部键合有PDMS微流道系统，压电基底上设有两个以上的弧形电极，弧形电极和PDMS微流道系统配合；本发明充分利用声表面波的优势，仅需通过对不同电极施加相应的正弦电压，就能够实现对化学粒子、液滴的多层包裹，从而形成多层膜结构，而且该装置体积较小，具有较高的生物兼容性电极数以及流道可进行扩增，从而使粒子被更多层的膜包裹。
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公开(公告)号：CN110624427B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201911031395.0
申请日：2019-10-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于表面声波的微流控气泡生成装置及方法，装置包括压电基底，压电基底上制作有两个以上的弧形电极对，压电基底上部键合有PDMS微流道系统，PDMS微流道系统包括两个以上的微气泡生成流道阵列，弧形电极对与PDMS微流道系统配合；方法是先将微流控气泡生成装置固定在显微镜的载物台上，然后将微流控气泡生成装置接入，开启注射泵，设置气相入口接头、液相入口接头的流速以稳定生成气泡；再将信号发生器与弧形电极对连接，调节信号发生器的输出信号以控制气泡生成的大小；本发明在保证气泡高通量生成的同时，调节输入正弦电压幅值、频率的大小，可以柔性实时调控微气泡的生成大小。
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公开(公告)号：CN108680290B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810651040.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种超高压力场测量装置，包括爆炸容器，爆炸容器的上腔体与下腔体通过腔体通道透光，下腔体侧壁上开有一个透光窗口；爆炸容器的上腔体内底部装有有机玻璃垫块，有机玻璃垫块的上部中心的圆柱凹槽内放有基于硫化锌的敏感元件，有机玻璃垫块的上方安装有垫片壳体，垫片壳体中心安装有垫片；垫片壳体的上方安装有装药壳体，装药壳体的中心下方安装有装药体，装药体通过伸出装药壳体的引线引爆；爆炸容器的下腔体内放置有一块平面反射镜，爆炸容器外部放置有通过数据线连接的相机与计算机；相机的镜头对准爆炸容器下腔体的透光窗口；本发明通过基于硫化锌的敏感元件可以实现小尺寸超高压力场的测量。
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公开(公告)号：CN111181490A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010001804.9
申请日：2020-01-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: H03B5/18
Abstract: 本发明公开了一种基于超谐同步技术的硅微谐振式倍频器，谐振模块为呈长距形形状的谐振梁，由两个固支模块形成两端固定支撑，谐振梁下端悬空设置于单晶硅基底；谐振梁一侧中部位置设置有激励模块，另一侧中部位置对应设置有检测模块，激励模块和检测模块均固定于单晶硅基底上，激励模块与信号输入模块连接，检测模块与振荡模块连接，谐振梁的两端分别与压阻调频模块连接产生电势差谐振梁本体，通过焦耳热效应调节振荡器振荡频率，实现不同阶数的超谐同步现象。本发明可实现超高阶数的倍频放大，突破了现有倍频器倍频次数的极限。
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