公开(公告)号：CN111157761B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202010003090.5

申请日：2020-01-02

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  王曙东 ,  徐柳 ,  朱威龙 ,  蒋庄德

IPC: G01P15/097 ,  G01P21/00

Abstract: 本发明公开了一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法，包括质量块，质量块的周围呈中心对称均匀布置有多组谐振敏感元件，当面内任意方向、任意大小的加速度施加于器件时，质量块同时对多组谐振敏感元件施加应力，改变其本征频率，谐振频率分别由对应的实时频率读取电路读出。本发明相比于传统的差分式单轴加速度传感器，在测量精度、灵敏度、测试量程等方面都具有独特的优势。本发明提供的温度补偿方法，除了消除温度带来的系统误差之外，还可额外提供当前的温度值信息。

公开(公告)号：CN111157761A

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN202010003090.5

申请日：2020-01-02

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 韦学勇 ,  王曙东 ,  徐柳 ,  朱威龙 ,  蒋庄德

IPC: G01P15/097 ,  G01P21/00

Abstract: 本发明公开了一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法，包括质量块，质量块的周围呈中心对称均匀布置有多组谐振敏感元件，当面内任意方向、任意大小的加速度施加于器件时，质量块同时对多组谐振敏感元件施加应力，改变其本征频率，谐振频率分别由对应的实时频率读取电路读出。本发明相比于传统的差分式单轴加速度传感器，在测量精度、灵敏度、测试量程等方面都具有独特的优势。本发明提供的温度补偿方法，除了消除温度带来的系统误差之外，还可额外提供当前的温度值信息。