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公开(公告)号：CN107179046A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710231210.5
申请日：2017-04-10
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器，包括检测元件和同步元件，分别置于第一振荡电路和第二振荡电路中并形成两个自激振荡器，检测元件和同步元件通过平板电容静电耦合，微弱的同步电流得以穿过，影响并降低检测元件振荡器的相位噪声，大幅提升其频率稳定性，其固有频率可通过频率计数器读取。三个检测元件分别通过放大梁围绕一个六边形质量块均匀分布，质量块用于感受重力加速度并施加拉压力于放大梁上，放大梁放大并传递该力于检测元件，改变其自激振荡频率，形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡电路的振荡频率及其变化，反演出整个器件所受加速度大小及方向。
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公开(公告)号：CN107979351B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201711270965.2
申请日：2017-12-05
Applicant: 西安交通大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 一种基于高阶同步的耦合压阻MEMS振荡器，包括两个并列排布的两个双端固支音叉梁，两个双端固支音叉梁的左右两端分别与衬底绝缘层固结的两个电极固定，使双端固支音叉梁悬置在镂空的衬底上；每一个双端固支音叉梁中间外侧伸出的电容极板一个电容极板配合，通过静电力的作用激励起双端固支音叉梁弯曲方向上的振动；两个双端固支音叉梁中间内侧伸出的平行电极板通过静电力进行相互作用，并通过对双端固支音叉梁中间电势的控制来调节相互耦合作用的大小；本发明实现同步，并且利用高阶同步中的频率倍比锁定关系提高作为传感器时的标度因子、灵敏度，从而提高检测精度。
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公开(公告)号：CN107179046B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201710231210.5
申请日：2017-04-10
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器，包括检测元件和同步元件，分别置于第一振荡电路和第二振荡电路中并形成两个自激振荡器，检测元件和同步元件通过平板电容静电耦合，微弱的同步电流得以穿过，影响并降低检测元件振荡器的相位噪声，大幅提升其频率稳定性，其固有频率可通过频率计数器读取。三个检测元件分别通过放大梁围绕一个六边形质量块均匀分布，质量块用于感受重力加速度并施加拉压力于放大梁上，放大梁放大并传递该力于检测元件，改变其自激振荡频率，形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡电路的振荡频率及其变化，反演出整个器件所受加速度大小及方向。
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公开(公告)号：CN107979351A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201711270965.2
申请日：2017-12-05
Applicant: 西安交通大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 一种基于高阶同步的耦合压阻MEMS振荡器，包括两个并列排布的两个双端固支音叉梁，两个双端固支音叉梁的左右两端分别与衬底绝缘层固结的两个电极固定，使双端固支音叉梁悬置在镂空的衬底上；每一个双端固支音叉梁中间外侧伸出的电容极板一个电容极板配合，通过静电力的作用激励起双端固支音叉梁弯曲方向上的振动；两个双端固支音叉梁中间内侧伸出的平行电极板通过静电力进行相互作用，并通过对双端固支音叉梁中间电势的控制来调节相互耦合作用的大小；本发明实现同步，并且利用高阶同步中的频率倍比锁定关系提高作为传感器时的标度因子、灵敏度，从而提高检测精度。
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