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公开(公告)号：CN111537921A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010323013.8
申请日：2020-04-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法，包括悬臂梁、声表面波器件、磁致伸缩薄膜和磁性质量块；声表面波器件设在悬臂梁上方，磁性质量块位于悬臂梁的自由端；磁致伸缩薄膜位于声表面波器件上方；声表面波器件包括压电薄膜和叉指电极；压电薄膜设置在悬臂梁上表面，若干叉指电极设置在压电薄膜上。本发明提供了一种悬臂梁式MEMS磁传感器。不同于传统的声表面波磁传感器，引入了带磁性质量块的悬臂梁，这种结构不仅通过磁扭矩效应，提高了灵敏度，而且采用了MEMS工艺，制备的传感器体积小，有利于高度集成化。
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公开(公告)号：CN111537921B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202010323013.8
申请日：2020-04-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法，包括悬臂梁、声表面波器件、磁致伸缩薄膜和磁性质量块；声表面波器件设在悬臂梁上方，磁性质量块位于悬臂梁的自由端；磁致伸缩薄膜位于声表面波器件上方；声表面波器件包括压电薄膜和叉指电极；压电薄膜设置在悬臂梁上表面，若干叉指电极设置在压电薄膜上。本发明提供了一种悬臂梁式MEMS磁传感器。不同于传统的声表面波磁传感器，引入了带磁性质量块的悬臂梁，这种结构不仅通过磁扭矩效应，提高了灵敏度，而且采用了MEMS工艺，制备的传感器体积小，有利于高度集成化。
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公开(公告)号：CN111398872B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202010198086.9
申请日：2020-03-19
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01R33/00 , G01R33/038 , G01R33/10
摘要： 一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器及其制备方法，包括固定底座、声表面波发生结构、悬臂梁结构和磁铁；悬臂梁结构的一端设置在固定底座的顶部，磁铁设置在悬臂梁结构的另一端；声表面波发生结构设置在悬臂梁结构表面；本发明的声表面波磁传感器通过引入扭矩效应，放大了磁场对声表面波中心频率的影响，有效的提高了声表面波磁传感器的灵敏度。这种新的声表面波磁传感器不仅使磁传感器的灵敏度提高近十倍，而且不需要额外的直流偏置磁场，这就使传感器的结构更加简单，而且减少了损耗。
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公开(公告)号：CN111398872A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010198086.9
申请日：2020-03-19
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01R33/00 , G01R33/038 , G01R33/10
摘要： 一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器及其制备方法，包括固定底座、声表面波发生结构、悬臂梁结构和磁铁；悬臂梁结构的一端设置在固定底座的顶部，磁铁设置在悬臂梁结构的另一端；声表面波发生结构设置在悬臂梁结构表面；本发明的声表面波磁传感器通过引入扭矩效应，放大了磁场对声表面波中心频率的影响，有效的提高了声表面波磁传感器的灵敏度。这种新的声表面波磁传感器不仅使磁传感器的灵敏度提高近十倍，而且不需要额外的直流偏置磁场，这就使传感器的结构更加简单，而且减少了损耗。
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公开(公告)号：CN109786923A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811573406.3
申请日：2018-12-21
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种声学驱动的微型磁电天线结构及制备方法，包括基体、布拉格声反射层、底部电极、顶部电极、压电层和磁致伸缩层；布拉格声反射层设置在基体上表面，布拉格声反射层的上表面设置压电层，压电层一端的下部与布拉格声反射层之间设置底部电极；压电层的上表面设置有顶部电极和磁致伸缩层。本发明的声学驱动超小型磁电天线用布拉格声反射层取代了空气间隙结构和背部掏空的结构，这种改进不仅提高了磁电天线的机械强度，而且多层反射层的存在有利于器件的散热。
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