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公开(公告)号：CN107053505B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201710284571.6
申请日：2017-04-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明一种用于大口径金刚石环线切割的轮系结构及其调整方法，所述的轮系结构，包括龙门支架，滑动设置在龙门支架上的溜板，在溜板上呈对称设置的四个共面的线轮；四个共面的线轮用于张紧安装金刚石环线每个线轮均设置有水平平衡调节装置；水平平衡调节装置包括气体静压主轴、主轴端盖、至少三个测距仪和至少三个螺旋测微器；线轮通过气体静压主轴和配合的主轴端盖定位，气体静压主轴与对应线轮的下端面顶紧设置；主轴端盖上分别设置至少三个螺旋测微器，螺旋测微器的测头顶紧设置在对应线轮的上端面；溜板上对应每个线轮设置至少三个测距仪；与张紧轮对应的测距仪设置在张紧轮使金刚石环线最松弛的位置处；测距仪的探头正对对应线轮的下端面。
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公开(公告)号：CN107053505A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710284571.6
申请日：2017-04-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明一种用于大口径金刚石环线切割的轮系结构及其调整方法，所述的轮系结构，包括龙门支架，滑动设置在龙门支架上的溜板，在溜板上呈对称设置的四个共面的线轮；四个共面的线轮用于张紧安装金刚石环线每个线轮均设置有水平平衡调节装置；水平平衡调节装置包括气体静压主轴、主轴端盖、至少三个测距仪和至少三个螺旋测微器；线轮通过气体静压主轴和配合的主轴端盖定位，气体静压主轴与对应线轮的下端面顶紧设置；主轴端盖上分别设置至少三个螺旋测微器，螺旋测微器的测头顶紧设置在对应线轮的上端面；溜板上对应每个线轮设置至少三个测距仪；与张紧轮对应的测距仪设置在张紧轮使金刚石环线最松弛的位置处；测距仪的探头正对对应线轮的下端面。
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公开(公告)号：CN107042445A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710400528.1
申请日：2017-05-31
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种摩擦杆驱动式气体静压导轨，属于机床设备单元部件技术领域，采用上横梁和下横梁组成双横梁结构；矩形气体静压导轨运动精度高，无摩擦，无污染，采用背压结构设计，利用气浮导轨动子套设在下横梁上，使得气浮导轨动子上表面与上横梁形成气浮背压区，提升气浮导轨的承载刚度；通过采用摩擦杆驱动结构，具有高精度、微进给、传动无间隙的优点，与直线电机或滚珠丝杠等驱动方式相比经济实用。气体静压导轨的气浮导轨动子采用多孔质节流材料，刚度高、承载大、精度高，满足背压要求的同时能够保证良好的滑动效果。通过包括顶紧螺栓和预紧弹簧的预紧机构对预紧摩擦轮进行预紧，不仅操作方便、预紧效果好，而且能够实现预紧力的无级调节。
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公开(公告)号：CN103801944B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410083627.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 北京微纳精密机械有限公司 , 西安交通大学
IPC: B23Q1/38
Abstract: 本发明涉及超精密制造装备技术领域，具体涉及一种大口径气体静压转台结构。其包括定位芯轴和连接芯轴，台面、连接芯轴和下静压板固定连接为一体，定位芯轴穿过连接芯轴的中心孔一端与台面的定位孔配合，另一端与下静压板的定位孔配合，壳体支座的上下凹槽设置上浮多孔质节流器、下浮多孔质节流器，径向多孔质节流器安装于壳体支座和连接芯轴之间，圆盘编码器安装于力矩电机动子的空腔中。本发明采用“工字型”气体静压结构，通过气膜的均化作用提高转台的精度，并且采用背压结构设计，提高转台的承载刚度；双芯轴结构，保证转台的装配精度和转动精度；转台通过力矩电机直接驱动，并配置高精度圆盘编码器，提高转台的运动精度和定位精度。
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公开(公告)号：CN102607483A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210082345.7
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种大口径光学非球面元件柱坐标接触式测量方法，利用测量机通过柱坐标测量方式，采集二维或三维数据；包括以下步骤：步骤S1：利用电感测微仪，找正转台面中心和长度计中心；步骤S2：通过电感测微仪将工件找正；步骤S3：确定基准坐标后，移动X轴将长度计移动到工件边缘确定起始点，将移动量和基准坐标比较确定测量行程L；步骤S4：根据测量机建立工件坐标系和测量坐标系，确定二维测量或三维测量，并进行数据采集，得到所需要的坐标点。本发明测量方法通过超精密形状测量机，能够实现大口径非球面元件铣磨加工后的测量评定，可以实现工件二维和三维误差评定；测量过程易操作，测量方法效率高，测量路径易实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102607482A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210080714.9
申请日：2012-03-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，包括转台下静压盘、若干调平装置、调心装置和万向调平板；转台下静压盘顶部设有凹球面和若干对称排布的凹槽；万向调平板的下部设有凸球面；万向调平板安装于转台下静压盘顶部，万向调平板的凸球面与转台下静压盘的凹球面相配合；转台台面的下安装面直接安装在万向调平板上。本发明的有益效果在于：1)可以用于大口径零件测量转台；2)调心调平装置中的球面配合，具有接触面积大、容易对心、运动平稳和承载能力大等优点；3)球面接触副在使用过程中，两个球面能够相互配研，能够得到更好的接触面积，具有自修整功能，很好地提高了调心调平装置的调整精度、稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN102248406A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110070114.X
申请日：2011-03-23
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 赵惠英 , 陈伟 , 陈健龙 , 赵则祥 , 崔殿龙 , 路洪伦 , 刘金波 , 李金明 , 乔雪涛 , 李彬 , 席建普 , 任东旭 , 李焕 , 梁颖 , 娄云鸽 , 郭艳婕 , 刘志华 , 张会连
IPC: B23Q1/01
Abstract: 所述的一种用于高精度非球面加工机床的Z轴部件属于先进制造领域，本发明主要涉及方箱型闭式液体静压导轨结构和闭式液体静压导轨差动微调结构。方箱型闭式液体静压导轨结构由方箱型导轨座4、方箱型导轨座盖板11、方形滑枕导轨8和液体静压块7、10、12、15、16、17、18、19组成，提高了闭式液体静压导轨的精度和刚度，降低了导轨机械结构的加工精度。Z轴部件液体静压导轨通过闭式液体静压导轨差动微调结构，有效解决了液体静压导轨的装配调试困难的问题，实现液压油膜厚度微米级的调节，提高了方箱型闭式液体静压导轨的运动精度。
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公开(公告)号：CN102198622A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110070112.0
申请日：2011-03-23
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 赵惠英 , 陈伟 , 赵则祥 , 崔殿龙 , 路洪伦 , 刘金波 , 李金明 , 乔雪涛 , 李彬 , 席建普 , 任东旭 , 李焕 , 陈健龙 , 梁颖 , 娄云鸽 , 郭艳婕 , 刘志华 , 张会连
IPC: B24B13/00
Abstract: 所述的新型大口径光学非球曲面加工磨床结构，属于先进制造领域。是国家“863”计划超精密加工技术与装备中的大口径光学非球曲面加工机床。随着国家航空航天事业的飞速发展，对于光学镜片的需求量越来越大。小口径、平面镜的加工已经不能满足发展的需要，大口径光学非球曲面镜的需求迫在眉睫。基于这样的原因在国家“863”计划的支持下设计了一款加工高精度光学非球曲面的磨床。其最大的特点是合理设计机床的整体结构，使机床Y轴、Z轴总重量大大减轻，提高砂轮砂粒切削深度控制能力，有效减小了工件亚表面损伤层，使加工对象的精度大大提高。各轴采用直线电机进行驱动，定位准确、快速，大大提高加工效率。
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公开(公告)号：CN102189410A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110070160.X
申请日：2011-03-23
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 赵惠英 , 陈伟 , 赵则祥 , 崔殿龙 , 路洪伦 , 刘金波 , 李金明 , 乔雪涛 , 李彬 , 席建普 , 任东旭 , 李焕 , 陈健龙 , 梁颖 , 娄云鸽 , 郭艳婕 , 刘志华 , 张会连
IPC: B23Q1/01
Abstract: 所述的精密加工机床用T型液体静压导轨属于先进制造领域，是对传统液体静压导轨结构上的一种改进。在材料上，床身采用花岗岩，溜板采用铸铁；在结构形式上，采用特有的T型导轨形式，即床身上设计有与运动导轨配合的T型导轨槽；在液体静压控制上，采用流量控制器组对导轨上各静压腔输送润滑油，在水平方向和垂直方向安装有静压块，通过静压块的调整实现导轨间油膜厚度的调整。采用该T型结构的液体静压导轨，其具有高刚性，高导向比和高精度。
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公开(公告)号：CN110078014A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910320046.4
申请日：2019-04-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 基于静电预加载具有准零刚度特性的MEMS微重力传感器芯片，包括单晶硅衬底，单晶硅衬底上生长二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上键合单晶硅结构层，单晶硅结构层中制作有MEMS加速度传感器芯片；MEMS加速度传感器芯片包括芯片框架,其四角分别分布有1组电极锚点，每组电极锚点之间连接的成阵列A、B电极板组成电容驱动单元，电极板端部与电极锚点连接，上下侧B电极板和中间臂连接，中间臂通过弹簧和质量块连接，除电极锚点及芯片框架，其余部分下的单晶硅衬底和二氧化硅绝缘层被腐蚀掉；采用静电驱动对弹簧进行轴向位移加载，在不降低弹簧垂向刚度的前提下使质量块在垂向获得一段具有准零刚度的工作区间，可用于微重力加速度检测，具有结构简单等特点。
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