公开(公告)号：CN115682917A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211021301.3

申请日：2022-08-24

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 丁建军 ,  李常胜 ,  李冠群 ,  刘昕东 ,  金雨生 ,  仙丹 ,  邢振磊 ,  孙浩峰 ,  张志超

IPC: G01B7/312 ,  G01B7/28 ,  G01B7/02 ,  G01D18/00 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明公开了一种圆光栅编码器主轴偏心误差补偿方法及系统，利用电容位移传感器均匀布置获取主轴轴线位移的瞬时矢量的原理，建立三点法误差分离模型，将标准球的圆度误差和主轴的径向回转误差分离，进而得到准确的主轴径向回转误差，采用高精度的自准直仪对圆光栅编码器进行校准，以多次测量的均值作为系统误差对圆光栅编码器进行角度补偿，通过角度补偿的方式，圆光栅编码器在消除了系统误差之后的测角精度达到了±1.62″，相对于标称精度±2.79″提升了两个角秒，本发明可以有效消除主轴安装偏心对于圆光栅测角准确性的影响，对于提升圆光栅编码器测角精度具有重要意义。