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公开(公告)号：CN117817489A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410070829.2
申请日：2024-01-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种精密球零件的行星齿轮式超精密磨抛装置和方法，属于超精密加工技术领域，所述磨抛装置包括抛光部分、下行星齿轮抛光部分和液体流通系统。上抛光部分包括一上部分旋转零件、一上滑环、一上部分固定环状零件、一上环状抛光垫；下部分包括若干多孔质行星齿轮盘、一下环状抛光垫、一齿圈、一下部分外承托结构、一下部分内承托结构、一太阳齿轮轴、一下滑环、若干齿圈/外承托结构连接件、若干抛光环套。行星齿轮盘开设的若干通孔中安装有抛光环套，待加工精密球零件安装在抛光环套中。在待加工精密球零件的加工过程中，抛光液在内部通路中持续的流通，用于精密球零件在纯机械或化学机械作用下完成表面的超精密加工。
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公开(公告)号：CN118636040A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410691520.5
申请日：2024-05-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石曲面紫外光‑涡流热辅助抛光方法和装置，通过非接触涡流加热抛光头，在抛光头与金刚石表面接触部位使金刚石表面石墨化，并用紫外光加速石墨化，通过抛光头的旋转运动去除石墨化层，实现金刚石表面的局部抛光，进而基于金刚石元件面形，规划抛光头运动轨迹，实现对整个金刚石元件的抛光。抛光装置包括工作台、工作槽、金刚石、抛光头、紫外光发生单元、PID温控装置及涡流加热装置；工作台固定于工作槽内，金刚石固定于工作台上，紫外光发生单元固定于工作槽内，抛光头正对金刚石，涡流加热装置的套筒通过轴承与抛光头连接，其内设置有线圈，涡流加热装置的温度传感器与PID温控装置的控制端相连。
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公开(公告)号：CN118456249A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410618339.1
申请日：2024-05-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石基板紫外光‑振动辅助抛光方法与设备，所述抛光方法将振动和紫外光照射同时作用于金刚石基板待加工面，在气体氛围下使金刚石基板待加工面向非金刚石物质转变；同步通过抛光盘与金刚石基板待加工面的相对运动去除非金刚石物质，实现金刚石基板的高效抛光。所述抛光装置包括真空腔和振动单元；所述真空腔通过进气管路与气瓶相连，所述真空腔中设置有抛光盘，所述抛光盘上开设有若干通孔，所述抛光盘下方设置有紫外光照射装置；所述振动单元下部伸入真空腔中，用于带动待加工的金刚石基板上下振动，并与抛光盘的表面磨粒碰撞。能够提升金刚石的加工效率和加工后表面质量，实现金刚石的高效、高表面质量近无损伤抛光。
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