公开(公告)号：CN109900764B

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN201910252712.5

申请日：2019-03-29

申请人： 西安交通大学

发明人： 庄健 ,  高丙立 ,  王志武 ,  程磊 ,  焦阳博翰

IPC分类号： G01N27/416

摘要： 本发明一种用于SECCM的微环境控制平台及其扫描方法，能够对扫描微型区域进行温湿度调控以及提供特殊气体环境，改善成像质量和稳定性。其包括形成密封空间的外部壳体，以及设置在壳体中的内岛；壳体顶部设置有用于探针伸入壳体的通孔，通孔上方覆盖有柔性的密封膜；壳体的侧边分别设置有液体进入和流出通道，气体进入和流出通道，以及出线孔；壳体的内侧设置有温湿度传感器；内岛和壳体内侧之间形成环绕内岛的液体流道；内岛用于加持承载样本的载物盒，载物盒下方设置有固定在内岛底部的电热片；内岛上旋转设置有压电片，压电片的一端用于接触样本上表面，另一端连接导线；电热片和温湿度传感器的连接线以及压电片的导线经出线孔引出并密封。

公开(公告)号：CN109900764A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201910252712.5

申请日：2019-03-29

申请人： 西安交通大学

发明人： 庄健 ,  高丙立 ,  王志武 ,  程磊 ,  焦阳博翰

IPC分类号： G01N27/416

摘要： 本发明一种用于SECCM的微环境控制平台及其扫描方法，能够对扫描微型区域进行温湿度调控以及提供特殊气体环境，改善成像质量和稳定性。其包括形成密封空间的外部壳体，以及设置在壳体中的内岛；壳体顶部设置有用于探针伸入壳体的通孔，通孔上方覆盖有柔性的密封膜；壳体的侧边分别设置有液体进入和流出通道，气体进入和流出通道，以及出线孔；壳体的内侧设置有温湿度传感器；内岛和壳体内侧之间形成环绕内岛的液体流道；内岛用于加持承载样本的载物盒，载物盒下方设置有固定在内岛底部的电热片；内岛上旋转设置有压电片，压电片的一端用于接触样本上表面，另一端连接导线；电热片和温湿度传感器的连接线以及压电片的导线经出线孔引出并密封。