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公开(公告)号：CN112099546B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202010889793.2
申请日：2020-08-28
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，采用缓冲室和工作室的双结构设计，利用缓冲室进行干湿气体的预混合，在工作室内中间固定有用于沉积的金属板，采用隔板将工作室内分为工作盒上气室和工作盒下气室，确保工作上室湿度的均匀性，减小气流对沉积点扰动影响，缓冲室的出气口通过管道连通至工作室内，工作室内的管道进气口位于隔板下端，并且在隔板上开设多个通气孔，利用多个气孔防止气体上升对上腔式内进行扰动，并且能够提供持续稳定的温湿度环境；通过双缓冲盒结构解决微纳制造中的微环境湿度控制，同时使得气流对微小液滴的扰动最小，金属阳离子浓度均衡，沉积速率稳定，沉积出的铜柱形态结构美观，边缘结构沉积规则。
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公开(公告)号：CN109900764B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201910252712.5
申请日：2019-03-29
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01N27/416
摘要： 本发明一种用于SECCM的微环境控制平台及其扫描方法，能够对扫描微型区域进行温湿度调控以及提供特殊气体环境，改善成像质量和稳定性。其包括形成密封空间的外部壳体，以及设置在壳体中的内岛；壳体顶部设置有用于探针伸入壳体的通孔，通孔上方覆盖有柔性的密封膜；壳体的侧边分别设置有液体进入和流出通道，气体进入和流出通道，以及出线孔；壳体的内侧设置有温湿度传感器；内岛和壳体内侧之间形成环绕内岛的液体流道；内岛用于加持承载样本的载物盒，载物盒下方设置有固定在内岛底部的电热片；内岛上旋转设置有压电片，压电片的一端用于接触样本上表面，另一端连接导线；电热片和温湿度传感器的连接线以及压电片的导线经出线孔引出并密封。
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公开(公告)号：CN110824199B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201911061104.2
申请日：2019-11-01
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明一种用于USICM的超声波发射调节装置及方法，重量轻，动态特性良好。所述装置包括超声波发射模块和样本培养皿模块；超声波发射模块包括底板，固定在底板上的超声波发射头，以及设置在超声波发射头的声透镜；样本培养皿模块包括螺圈、培养皿、左侧板和右侧板；左侧板和右侧板均呈弧形板设置，对称固定在的底板上，弧形内侧设有螺纹；螺圈与左右侧板的螺纹共同螺纹配合；培养皿固定在螺圈上，培养皿的中心有一圆孔。所述方法将准备好的样本密封粘结固定在培养皿圆孔的上方，然后将带有螺圈的培养皿拧在左侧板和右侧板上，根据超声波发射头和声透镜的固有特性以及实验的具体需要，调整培养皿的上下高度，完成USICM的超声波发射调节。
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公开(公告)号：CN110824199A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911061104.2
申请日：2019-11-01
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明一种用于USICM的超声波发射调节装置及方法，重量轻，动态特性良好。所述装置包括超声波发射模块和样本培养皿模块；超声波发射模块包括底板，固定在底板上的超声波发射头，以及设置在超声波发射头的声透镜；样本培养皿模块包括螺圈、培养皿、左侧板和右侧板；左侧板和右侧板均呈弧形板设置，对称固定在的底板上，弧形内侧设有螺纹；螺圈与左右侧板的螺纹共同螺纹配合；培养皿固定在螺圈上，培养皿的中心有一圆孔。所述方法将准备好的样本密封粘结固定在培养皿圆孔的上方，然后将带有螺圈的培养皿拧在左侧板和右侧板上，根据超声波发射头和声透镜的固有特性以及实验的具体需要，调整培养皿的上下高度，完成USICM的超声波发射调节。
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公开(公告)号：CN109900764A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910252712.5
申请日：2019-03-29
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01N27/416
摘要： 本发明一种用于SECCM的微环境控制平台及其扫描方法，能够对扫描微型区域进行温湿度调控以及提供特殊气体环境，改善成像质量和稳定性。其包括形成密封空间的外部壳体，以及设置在壳体中的内岛；壳体顶部设置有用于探针伸入壳体的通孔，通孔上方覆盖有柔性的密封膜；壳体的侧边分别设置有液体进入和流出通道，气体进入和流出通道，以及出线孔；壳体的内侧设置有温湿度传感器；内岛和壳体内侧之间形成环绕内岛的液体流道；内岛用于加持承载样本的载物盒，载物盒下方设置有固定在内岛底部的电热片；内岛上旋转设置有压电片，压电片的一端用于接触样本上表面，另一端连接导线；电热片和温湿度传感器的连接线以及压电片的导线经出线孔引出并密封。
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公开(公告)号：CN109142797B
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201811033309.5
申请日：2018-09-05
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01Q60/44
摘要： 本发明一种液滴型扫描离子电导显微镜及其探针和扫描方法，所述的探针包括双通道微流控芯片和θ型双管玻璃管。所述的显微镜包括PC机、FPGA主控制器、微流量控制器、载物盘控制单元、探针控制单元、以及上述探针。所述的扫描方法包括对每扫描行进行正方向大像素点间距逐点粗扫描；识别该扫描行的感兴趣区域、次感兴趣区域和不感兴趣区域；对该扫描行进行反向变像素点间距扫描；完成所有扫描行的正向和反向扫描；组合每一行正向粗扫描和反向变像素点间距扫描测量点数据，得到整体扫描图像。能够避免由于大量电导介质的使用引起的电化学干扰，提高液滴型扫描离子电导显微镜成像精度和成像速度。
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公开(公告)号：CN109142797A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811033309.5
申请日：2018-09-05
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01Q60/44
摘要： 本发明一种液滴型扫描离子电导显微镜及其探针和扫描方法，所述的探针包括双通道微流控芯片和θ型双管玻璃管。所述的显微镜包括PC机、FPGA主控制器、微流量控制器、载物盘控制单元、探针控制单元、以及上述探针。所述的扫描方法包括对每扫描行进行正方向大像素点间距逐点粗扫描；识别该扫描行的感兴趣区域、次感兴趣区域和不感兴趣区域；对该扫描行进行反向变像素点间距扫描；完成所有扫描行的正向和反向扫描；组合每一行正向粗扫描和反向变像素点间距扫描测量点数据，得到整体扫描图像。能够避免由于大量电导介质的使用引起的电化学干扰，提高液滴型扫描离子电导显微镜成像精度和成像速度。
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公开(公告)号：CN112099546A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010889793.2
申请日：2020-08-28
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，采用缓冲室和工作室的双结构设计，利用缓冲室进行干湿气体的预混合，在工作室内中间固定有用于沉积的金属板，采用隔板将工作室内分为工作盒上气室和工作盒下气室，确保工作上室湿度的均匀性，减小气流对沉积点扰动影响，缓冲室的出气口通过管道连通至工作室内，工作室内的管道进气口位于隔板下端，并且在隔板上开设多个通气孔，利用多个气孔防止气体上升对上腔式内进行扰动，并且能够提供持续稳定的温湿度环境；通过双缓冲盒结构解决微纳制造中的微环境湿度控制，同时使得气流对微小液滴的扰动最小，金属阳离子浓度均衡，沉积速率稳定，沉积出的铜柱形态结构美观，边缘结构沉积规则。
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