一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法

    公开(公告)号:CN113466393B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202110655172.2

    申请日:2021-06-11

    摘要: 本发明公开了一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法,包括在硅片上光刻剥离形成铝掩膜层;通过刻蚀形成带有微立柱阵列的色谱柱微流道;酸溶液浸泡硅片,去除掩膜并与硼硅玻璃键合;在硅片背面溅射钛与铂作为测温电阻、加热丝与电极;溅射金作为电极引脚;毛细管连接微型气相色谱柱两端口;在色谱柱微流道内构筑介孔二氧化硅微球,静态涂覆方式涂覆离子液体固定相。色谱柱内介孔结构极大增加了固定相的涂覆面积,在有限色谱柱长度内提高分离能力,对氧气有很好的耐受性,保证微色谱柱在高温有氧环境下的高可靠性、高稳定性和高柱效,能够直接运用空气作载气,为VOCs检测系统提供一种优良的微色谱柱。

    一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法

    公开(公告)号:CN113466393A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110655172.2

    申请日:2021-06-11

    摘要: 本发明公开了一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法,包括在硅片上光刻剥离形成铝掩膜层;通过刻蚀形成带有微立柱阵列的色谱柱微流道;酸溶液浸泡硅片,去除掩膜并与硼硅玻璃键合;在硅片背面溅射钛与铂作为测温电阻、加热丝与电极;溅射金作为电极引脚;毛细管连接微型气相色谱柱两端口;在色谱柱微流道内构筑介孔二氧化硅微球,静态涂覆方式涂覆离子液体固定相。色谱柱内介孔结构极大增加了固定相的涂覆面积,在有限色谱柱长度内提高分离能力,对氧气有很好的耐受性,保证微色谱柱在高温有氧环境下的高可靠性、高稳定性和高柱效,能够直接运用空气作载气,为VOCs检测系统提供一种优良的微色谱柱。