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公开(公告)号：CN115900788A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211667875.8
申请日：2022-12-23
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
IPC分类号： G01D5/353
摘要： 本发明涉及法珀传感器腔长的解调系统及方法，具体涉及一种光纤法珀传感器腔长的双折射晶体解调系统及方法，用于解决传统的光纤法珀传感器空间扫描型低相干干涉解调系统中，光线经过光纤准直器和柱透镜形成线性出射光斑，光强呈不均匀的高斯分布，导致解调难度加大，限制了解调系统的解调范围和精度，同时，准直器的口径受限于柱透镜和线阵CCD的尺寸，解调系统难以实现小型化且装调步骤多、难度大的不足之处。该光纤法珀传感器腔长的双折射晶体解调系统采用LED光源，相比ASE等宽带光源，带宽较窄，同时采用双折射晶体和线栅偏振片直接作为起偏和检偏器件进行强度调节，可显著提高干涉条纹对比度，进而获得较高的解调精度。
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公开(公告)号：CN118936108A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411000960.8
申请日：2024-07-25
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
摘要： 本发明属于半导体技术领域，涉及一种使用中长波红外辐射测温系统的超低温快速热处理炉，包括：加热腔、真空工艺腔，加热腔与真空工艺腔为采用石英保护玻璃相互隔离；加热腔内设有卤素加热灯、温度控制系统；真空工艺腔内待测晶圆的前晶面正对石英保护玻璃位于真空工艺腔一侧的平面；真空工艺腔内设有测温探头正对待测晶圆的背晶面；测温探头电连接温度控制系统；本发明通过选用加热腔保护玻璃不透过的波段作为工作波段，将加热光对于工作波段的辐射干扰在进入工艺腔室前拦截掉，如此则可以解决低温时加热辐射透射对于测量的干扰，使得高温计可以测得更低温度下硅晶圆的信号辐射，扩展了RTP的低温工艺范围，测温下限可以达到50摄氏度或更低。
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公开(公告)号：CN117558090A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202210939166.4
申请日：2022-08-05
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
IPC分类号： G08B13/12
摘要： 本发明涉及光纤防入侵系统，具体涉及一种基于低频光纤振动检波器的防入侵系统，用于解决现有光纤防入侵系统存在感知灵敏度较低、预警范围小、预警时间短、可靠性低的不足之处。该基于低频光纤振动检波器的防入侵系统，包括依次相互连接的中心控制与信息处理单元、M个通讯单元，以及M个与通讯单元一一对应的低频光纤FP振动传感器，本发明采用低频光纤FP振动传感器对入侵者产生的振动进行检测，使得防入侵系统的灵敏度得到极大的提高，进而提高了防入侵系统的可靠性。
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公开(公告)号：CN118089971A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410279708.9
申请日：2024-03-12
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种透过玻璃热壁进行测温的半导体设备及测温方法，以解决现有测温方案中，由于石英玻璃为不良导体，导致测量的温度精度较低的问题，该设备包括石英玻璃腔、套装在石英玻璃腔的外壁上的加热器及设置于加热器外的测温仪；加热器上设有测温孔；测温仪包括第一测温计、第二测温计、信号处理器及显示器；第一测温计为辐射测温计，其光谱工作在石英玻璃腔的透明波段内；第二测温计为热电偶测温计或工作光谱在石英玻璃腔的非透明波段内的辐射测温计；信号处理器分别与第一测温计和第二测温计连接，用于接收第一测温计和第二测温计的测量结果，并进行处理获得被测物的温度发送至显示器显示。
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公开(公告)号：CN117553835A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202210939170.0
申请日：2022-08-05
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
IPC分类号： G01D5/353
摘要： 本发明涉及光纤传感器，具体涉及同步多通道光纤传感器，用于解决基于光谱仪解调的多通道光纤传感器无法满足多点同步测量和高响应速度的应用要求的不足之处。该同步多通道光纤传感器将多个光纤传感头的出射光转换为面阵图像传感器上互不干涉的多个光谱像，从而达到多通道信号同时解调的目的，极大地提高响应速度，满足了多点同步测量和高响应速度的应用要求，此外，由于响应速度的提高，本发明的应用范围也得到了拓展。
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公开(公告)号：CN221974083U
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202323503843.7
申请日：2023-12-21
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及直线运动结构，具体涉及一种基于石墨自润滑特性的直线运动结构，解决现有直线运动结构中用于减少直线运动部件磨损的直线轴承、直线导轨以及无油衬套均存在金属部件，金属部件易氧化、腐蚀、生锈，导致运动性能降低的问题，本实用新型的一种基于石墨自润滑特性的直线运动结构，包括外壳、石墨润滑件以及直线滑动块；所述石墨润滑件设置在所述外壳的内壁，所述直线滑动块设置在石墨润滑件内并且可在石墨润滑件内沿直线运动；整个石墨润滑件中不存在金属部件，不会因为金属部件氧化、腐蚀、生锈，进而导致运动性能降低。
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公开(公告)号：CN217932867U
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202222057531.7
申请日：2022-08-05
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
IPC分类号： G08B13/12
摘要： 本实用新型涉及光纤防入侵系统，具体涉及一种基于低频光纤振动检波器的防入侵系统，用于解决现有光纤防入侵系统存在感知灵敏度较低、预警范围小、预警时间短、可靠性低的不足之处。该基于低频光纤振动检波器的防入侵系统，包括依次相互连接的中心控制与信息处理单元、M个通讯单元，以及M个与通讯单元一一对应的低频光纤FP振动传感器，本实用新型采用低频光纤FP振动传感器对入侵者产生的振动进行检测，使得防入侵系统的灵敏度得到极大的提高，进而提高了防入侵系统的可靠性。
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公开(公告)号：CN217877740U
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202222055703.7
申请日：2022-08-05
申请人： 西安和其光电科技股份有限公司
IPC分类号： G01D5/353
摘要： 本实用新型涉及光纤传感器，具体涉及同步多通道光纤传感器，用于解决基于光谱仪解调的多通道光纤传感器无法满足多点同步测量和高响应速度的应用要求的不足之处。该同步多通道光纤传感器将多个光纤传感头的出射光转换为面阵图像传感器上互不干涉的多个光谱像，从而达到多通道信号同时解调的目的，极大地提高响应速度，满足了多点同步测量和高响应速度的应用要求，此外，由于响应速度的提高，本实用新型的应用范围也得到了拓展。
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