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发明公开
一种CMOS图像传感器晶圆级光电参数测试方法及系统审中-实审

公开(公告)号：CN116437072A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310487955.3

申请日：2023-04-28

申请人： 西安微电子技术研究所

发明人： 翟孟奎 , 马琳丽 , 王蕊 , 张东海 , 黄媛媛 , 杨靓

IPC分类号： H04N17/00 , H04N25/76

摘要： 本发明公开了一种CMOS图像传感器晶圆级光电参数测试方法及系统，通过在探针卡上加装可控光源系统，控制光源强度，对CMOS图像传感器进行输出数据采集及转码转置，得到与象元面阵同等大小的矩阵数列，并对该矩阵阵列进行零点追踪检测，通过可控光源系统实现了CMOS图像传感器在不同曝光度下的检测，通过零点追踪检测的方式相比于逐点连续检测来说极大的减少了坏行坏列检测的时间，提升了测试效率，提高了数据处理速度；此外，本申请是在CMOS图像传感器封装前进行的晶圆级光电参数检测，相比于现有的对CMOS图像传感器封装完成后进行的检测，测试效率更高。