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公开(公告)号:CN117011260A
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN202310960861.3
申请日:2023-07-28
申请人: 西安电子科技大学重庆集成电路创新研究院
IPC分类号: G06T7/00 , G06T5/00 , G06N3/0464 , G06N3/096 , G06V10/764 , G06V10/82
摘要: 本发明公开了一种芯片外观缺陷自动检测方法、电子设备及存储介质,包括:利用光学相机采集芯片图像,并使用Retinex光照均衡和中值滤波进行图像预处理;构建基于单阶段免锚框神经网络结构的芯片检测模块,从预处理后图像中提取芯片区域;构建基于多尺度单阶段神经网络结构的引脚检测模块,从芯片区域中提取引脚;构建基于神经网络结构的引脚异常分类模块,对引脚异常情形进行分类;构建基于多尺度单阶段神经网络结构的封装表面异常检测模块,以检测封装表面的异常;基于预处理后的数据构建数据集对各个模型进行训练。利用已训练模型对输入新图像进行芯片外观缺陷检测。本发明解决了人工和传统自动化检测方式效率低、鲁棒性低、误检率高等缺陷。