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公开(公告)号:CN118882701A
公开(公告)日:2024-11-01
申请号:CN202410930002.4
申请日:2024-07-11
申请人: 西安石油大学
摘要: 本发明属于柔性传感器技术领域,公开了一种基于功能化电极的压力‑温度双敏传感器及其制备方法,传感器包括柔性基底和压力传感层,柔性基底上设有叉指电极,压力传感层包括弹性基底和设置弹性基底中且呈阵列分布的多个能够导电的螺旋状纤维,螺旋状纤维的一端露出于弹性基底的表面,螺旋状纤维露出于弹性基底表面的一端与叉指电极接触,叉指电极的材质为纳米银,弹性基底与柔性基底之间连接。本发明通过合理的结构设计,能够同时实现压力和温度的检测,且信号易解耦。
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公开(公告)号:CN118882727A
公开(公告)日:2024-11-01
申请号:CN202410930007.7
申请日:2024-07-11
申请人: 西安石油大学
IPC分类号: G01D21/02 , H10N30/30 , H10N30/85 , H10N30/857 , H10N30/853 , H10N30/88 , B82Y15/00 , H10N30/02 , H10N30/076 , H10N30/081 , H10N30/092 , H10N30/06 , H10N30/87
摘要: 本发明公开了一种隧道结结构的双功能传感器及其制备方法,属于多功能传感器技术领域。该方法以PDMS/Au作为顶部和底部电极,采用磁控溅射技术和水热法构建图案化ZnO NRs阵列作为冷阴极,在PVDF中掺杂GO复合材料对ZnO NRs进行封装,该封装结构同时可作为温度传感器。同时利用砂纸构造微结构弹性薄膜PDMS作为均匀的压力感应层,微结构的设计能够使整个压力感应层感知到更小的压力,提高压力测试范围。最后采用顶部电极‑PDMS压力感应层‑传感层‑底部电极的结构通过PI胶带进行整体封装构成传感器;该传感器同时具备压力传感器和温度传感器的两个作用,为性能较优的双功能传感器。
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