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公开(公告)号：CN116403898A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310376595.X
申请日：2023-04-11
Applicant: 西安空间无线电技术研究所 , 电子科技大学
IPC: H01L21/308 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/768 , H01L23/66 , H01Q21/00 , H01Q13/02
Abstract: 本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种以激光辅助刻蚀绝缘层介质制作深硅刻蚀的方法及应用，用HF酸、丙酮、无水乙醇依次对Si片进行清洗，去除表面自然氧化的氧化层以及其他的无机物；在待刻蚀的Si基板上，通过化学气相沉积工艺沉积一层绝缘层介质作为硬掩膜；将沉积完绝缘层介质的Si片表面进行高温氧化处理；利用激光刻蚀工艺在Si片表面刻出图形；将刻完图形的Si片进行标准的BOSCH干法刻蚀工艺，直到刻穿。本发明采用具有与Si高刻蚀选择比的绝缘层介质作为硬掩膜，相比于常规的光刻胶掩膜，具有更好的通孔形貌和质量；采用激光辅助刻蚀绝缘层介质，相比常规的深硅刻蚀工艺，工艺步骤少、效率高、成本低。
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公开(公告)号：CN105305089B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201510808220.1
申请日：2015-11-19
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: H01Q15/14
Abstract: 一种可调整复合材料模具设计装置与设计方法，该装置主要包括模具型面、调整装置、调整工装、模具支撑背架和角片；调整装置布置在模具型面的一侧，且具有直线位移进给功能；模具型面通过调整装置与调整工装进行连接，所述调整工装上的基准点对模具型面的精度进行测量，获得调整装置的法向位移偏差，调整装置根据法向位移偏差对模具型面进行调整，模具支撑背架在模具型面调整完成后通过角片与模具型面进行连接，本发明通过型面调整来实现了模具型面的高精度，该方法可用于遥感卫星、通信卫星中高精度反射器的研制，亦可应用于地面高精度反射器研制，满足了高精度、低热膨胀系数反射面天线模具需要。
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公开(公告)号：CN105274530A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510594064.3
申请日：2015-09-17
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: C23F1/28
Abstract: 一种适合多层膜电路制作的镍光刻腐蚀液配方及腐蚀方法，配方包括氢氟酸、硝酸和去离子水；各组成部分的体积比如下：氢氟酸：硝酸：去离子水＝(0.8-1.2)：(2.5-3.5)：2。利用本发明配方腐蚀的多层膜电路镍层在40×显微镜下观察，线条侧壁光滑、陡直，无金属膜层内缩，无锯齿状凸起或内凹；腐蚀前后对比膜层附着力无明显变化，无膜层起翘、脱落等现象；经上百次腐蚀验证，线条质量良好，腐蚀过程容易控制，腐蚀工艺性较为稳定。
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公开(公告)号：CN104319455B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410513732.0
申请日：2014-09-29
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种星载可动天线单点锁紧系统，包括锁紧释放装置、第一角片、第二角片、X轴支架、Y轴支架、X轴转动单元、固定支架、以及Y轴转动单元。本发明将天线内部多个转动部件串联后通过单点锁紧固定，单点锁紧后，锁紧点仅为1个，对应火工品数量减少为1发，通过合理布局，使得单点锁紧能够满足强度、刚度要求。这样就提高了天线解锁的可靠性，减小了火工品对天线及星体的冲击，天线结构包络更小，实现了天线的轻量化和小型化，具有广泛的适用性和推广应用价值。
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公开(公告)号：CN115149275B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211036659.3
申请日：2022-08-29
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本申请提供一种可折叠固面天线反射器，包括：主体部分和折叠部分，所述折叠部分与所述主体部分活动连接以使得所述折叠部分能够相对于所述主体部分向卫星墙板方向折叠，以收拢天线反射器；所述天线反射器处于收拢状态时，所述天线反射器位于卫星整流罩的包络内。本申请的可折叠固面天线反射器至少具有以下有益技术效果之一：结构简单，通用性好，可以实现大口径固面反射器折叠收拢；并且，能够产生较大的布局空间，给天线布局带来了更大的灵活性，不再受限于火箭整流罩的包络限制，适应未来大口径固面天线的发展，有广泛的适用性和推广应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105305090B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201510809217.1
申请日：2015-11-19
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: H01Q15/14
Abstract: 一种可调整反射面天线模具调整结构，包括若干个调整装置、调整结构基座、调整装置安装块、测量工装、六角螺母、平垫、弹垫、U型垫片、球形垫片、大垫片、连接螺杆和内六角圆柱体头螺钉，其中调整装置包括调整螺杆、扳手头、刻度盘、平垫、内六角圆柱体头螺钉、十字槽沉头螺钉、轴承当环、调整螺母、六角螺母、深沟球轴承、防转螺钉、轴承内圈定位螺母、壳体，调整结构座体包括基座柱型连接接头、竖向圆管件、L型件、板型件和平垫、弹垫、内六角圆柱体头螺钉。本发明实现了可调整反射面天线复合材料模具的型面调整和模具型面与模具支撑背架的粘接；本发明对该调整结构尺寸范围内的任意模具型面和反射面天线均可进行型面调整，具有通用性。
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公开(公告)号：CN105390793A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510808274.8
申请日：2015-11-19
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: H01Q1/12
CPC classification number: H01Q1/1235
Abstract: 一种带自锁功能折展桁架，包括主支撑臂、辅助支杆、第一铰链、第二铰链、第三铰链、第一支座和第二支座；所述主支撑臂为四边形框架结构，框架结构的一条边通过第一铰链与第一支座相连，相对的一条边通过第二铰链与辅助支杆相连接；主支撑臂通过第一铰链转动；所述辅助支杆的一端通过第三铰链与第二支座相连接，另一端通过第二铰链与主支撑臂连接；辅助支杆的两端分别通过第二铰链和第三铰链转动。本发明结构简单，无需额外动力即可实现大收纳比空间展开，且可以反复收拢，展开到位可靠，能够提供一定的结构刚度，满足跟踪天线的需求，有广泛的适用性和推广应用价值。
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公开(公告)号：CN117791170A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311655598.3
申请日：2023-12-05
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种轻质高热稳定性且焦距可调固面反射器，包括：反射面、展开臂、二维转动机构、第一折叠展开臂、第一一维展开铰链、第二折叠展开臂、第二一维展开铰链以及卫星平台。本发明结构简单，通用性好，可以实现大口径固面反射器的轻量化、高热稳定性、长焦距布局设计且焦距可调节，从而保证天线不再受限于卫星本体的包络限制，克服了传统的背筐支撑式固面反射器重量重、热稳定性欠佳、焦距受卫星平台包络限制且不可调节的缺点。本发明适应未来高性能要求的高通量卫星灵活载荷多波束天线的发展，有广泛的适用性和推广应用价值。
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公开(公告)号：CN105390793B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201510808274.8
申请日：2015-11-19
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: H01Q1/12
Abstract: 种带自锁功能折展桁架,包括主支撑臂、辅助支杆、第铰链、第二铰链、第三铰链、第支座和第二支座;所述主支撑臂为四边形框架结构,框架结构的条边通过第铰链与第支座相连,相对的条边通过第二铰链与辅助支杆相连接;主支撑臂通过第铰链转动;所述辅助支杆的端通过第三铰链与第二支座相连接,另端通过第二铰链与主支撑臂连接;辅助支杆的两端分别通过第二铰链和第三铰链转动。本发明结构简单,无需额外动力即可实现大收纳比空间展开,且可以反复收拢,展开到位可靠,能够提供定的结构刚度,满足跟踪天线的需求,有广泛的适用性和推广应用价值。
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公开(公告)号：CN105274530B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201510594064.3
申请日：2015-09-17
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: C23F1/28
Abstract: 一种适合多层膜电路制作的镍光刻腐蚀液配方及腐蚀方法，配方包括氢氟酸、硝酸和去离子水；各组成部分的体积比如下：氢氟酸：硝酸：去离子水＝(0.8‑1.2)：(2.5‑3.5)：2。利用本发明配方腐蚀的多层膜电路镍层在40×显微镜下观察，线条侧壁光滑、陡直，无金属膜层内缩，无锯齿状凸起或内凹；腐蚀前后对比膜层附着力无明显变化，无膜层起翘、脱落等现象；经上百次腐蚀验证，线条质量良好，腐蚀过程容易控制，腐蚀工艺性较为稳定。
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