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公开(公告)号:CN1269991C
公开(公告)日:2006-08-16
申请号:CN01808682.9
申请日:2001-04-27
申请人: 西蒙弗雷泽大学
IPC分类号: C23C18/14
CPC分类号: C23C18/06 , C11D7/3218 , C11D7/3281 , C11D7/34 , C23C18/08 , C23C18/1216 , C23C18/1245 , C23C18/1295 , C23C18/14 , G03F7/425 , G03F7/426 , H01L21/02052 , H01L21/02071 , H01L21/31116 , H01L21/76807 , H01L21/76814 , H01L21/76838 , H01L21/76894 , H05K3/105 , Y10S148/903 , Y10T428/12493 , Y10T428/12903
摘要: 本发明涉及不含光刻胶的由金属配合物沉积金属,如铜,或其氧化物膜的方法。更具体地,该方法包含将金属配合物的非晶膜涂敷在衬底上。该金属配合物具有通式M2L2X2,其中,M是Cu;L是如通式(R2NCR’2CR”2O)的配位体,其中R和R’独立选自H、CnHm和CnHmAxBy,其中A和B均独立选自主族元素;n、m、x和y代表整数;R”是H;X是阴离子并独立选自N3、NCO、NO3和NO2。通过例如热、光化学或电子束的辐射,这些膜可转化成金属或其氧化物。利用直射光或电子束,通过一步即可形成带图案的金属或金属氧化物膜。