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公开(公告)号：CN111313746A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010248751.0
申请日：2017-03-16
申请人： 西铁城时计株式会社
发明人： 山本泉
摘要： 本发明使利用带电部与对置电极之间的静电相互作用来进行电力与动力之间的转换的静电式机电换能器的输出增大而且减轻作用于可动基板的摩擦力。本发明的静电式机电换能器具有：固定基板；可动基板，其与固定基板之间保持一定距离且能够移动；多个带电部，它们在可动基板的与固定基板相对的相对面上沿可动基板的移动方向空出间隔地配置；多个对置电极，它们在固定基板的与可动基板相对的相对面上沿移动方向配置；以及接地电极，与可动基板的相对面的相反侧那一面相对配置。
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公开(公告)号：CN108886330A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780017533.2
申请日：2017-03-16
申请人： 西铁城时计株式会社
发明人： 山本泉
IPC分类号： H02N1/00
摘要： 本发明使利用带电部与对置电极之间的静电相互作用来进行电力与动力之间的转换的静电式机电换能器的输出增大而且减轻作用于可动基板的摩擦力。本发明的静电式机电换能器具有：固定基板；可动基板，其与固定基板之间保持一定距离且能够移动；多个带电部，它们在可动基板的与固定基板相对的相对面上沿可动基板的移动方向空出间隔地配置；多个对置电极，它们在固定基板的与可动基板相对的相对面上沿移动方向配置；以及接地电极，与可动基板的相对面的相反侧那一面相对配置。
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公开(公告)号：CN1918792A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200580004418.9
申请日：2005-02-10
申请人： 西铁城时计株式会社
发明人： 山本泉
CPC分类号： H03H9/215
摘要： 本发明提供一种晶体片及振子，在振子的腿部(2、3)上形成槽部(2a、3a)，在腿部侧面和槽部上分别形成侧面电极(2e、3e)和槽电极(2d、3d)。腿部(2、3)在其全长内宽度做成相同，但槽部(2a、3a)在下端附近部分向下端使宽度逐渐减小，从而在此处的腿部侧面和槽部之间形成梯形区域(D)，将该区域(D)的一部分作为连接槽电极和侧面电极的电极(5c)的配置区域。
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公开(公告)号：CN111313746B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202010248751.0
申请日：2017-03-16
申请人： 西铁城时计株式会社
发明人： 山本泉
摘要： 本发明使利用带电部与对置电极之间的静电相互作用来进行电力与动力之间的转换的静电式机电换能器的输出增大而且减轻作用于可动基板的摩擦力。本发明的静电式机电换能器具有：固定基板；可动基板，其与固定基板之间保持一定距离且能够移动；多个带电部，它们在可动基板的与固定基板相对的相对面上沿可动基板的移动方向空出间隔地配置；多个对置电极，它们在固定基板的与可动基板相对的相对面上沿移动方向配置；以及接地电极，与可动基板的相对面的相反侧那一面相对配置。
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公开(公告)号：CN1906847A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200580001601.3
申请日：2005-09-16
申请人： 西铁城时计株式会社
CPC分类号： H03H3/04 , H03H9/215 , H03H2003/0492
摘要： 本发明涉及由晶体等振动片构成的振子的制造方法。作为对于晶体蚀刻为耐蚀膜的金属膜，Cr膜作为底层、Au膜作为表面层使用，在光刻胶层形成外形的图形后，进行Au膜的蚀刻，接着在进行槽部的图形形成后进行Cr膜的蚀刻。由于光刻胶层用Au膜的蚀刻液不会产生表面变质层，因此这样做，可以在没有表面变质层的状态下进行槽部的图形形成，因而可形成精度高的槽部。
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