公开(公告)号：CN101063663A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710101110.7

申请日：2007-04-26

申请人： 西门子公司

发明人： W·海恩 ,  D·斯普里格尔 ,  M·斯托克曼 ,  M·韦伯

IPC分类号： G01N21/958 ,  G01N21/88 ,  G01M11/02

CPC分类号： G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

摘要： 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。

公开(公告)号：CN101063663B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200710101110.7

申请日：2007-04-26

申请人： 西门子公司

发明人： W·海恩 ,  D·斯普里格尔 ,  M·斯托克曼 ,  M·韦伯

IPC分类号： G01N21/958 ,  G01N21/88 ,  G01M11/02

CPC分类号： G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

摘要： 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，、前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。