公开(公告)号：CN101063663A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710101110.7

申请日：2007-04-26

Applicant: 西门子公司

Inventor： W·海恩 ,  D·斯普里格尔 ,  M·斯托克曼 ,  M·韦伯

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/88 ,  G01M11/02

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

Abstract: 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。

公开(公告)号：CN103363896A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310108098.8

申请日：2013-03-29

Applicant: 东京特殊电线株式会社

Inventor： 木内和昭 ,  小相泽久 ,  皆瀬十三夫 ,  高木俊英

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/14 ,  G01N21/88 ,  H01B13/00 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01B11/2433 ,  G01N2021/8905

Abstract: 本发明提供层叠体的检查方法、层叠体检查装置以及层叠体制造装置。当使光从带有加强板的扁型电缆的第一面侧照射于带有加强板的扁型电缆时，在带有加强板的扁型电缆的第二面侧，除正确地制作导体的影像以及加强板的影像的第一光强度外，以正确地制作带有加强板的扁型电缆的窗部的边缘的影像的第二光强度，使光从带有加强板的扁型电缆的第一面侧照射于带有加强板的扁型电缆，从第二面侧拍摄透过图像，解析透过图像并进行边距以及加强板位置的检查。通过第一光强度的光检测导体的位置以及加强板的位置，通过第二光强度的光检测窗部的边缘。通过一组照相机和照明以及一个图像解析装置，进行带有加强板的扁型电缆的导体以及加强板以及边缘位置的检查。

公开(公告)号：CN107074455A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580048104.2

申请日：2015-07-14

Applicant: KHS有限责任公司

Inventor： C·布赫瓦尔德 ,  J-P·赫尔曼 ,  M·M·赫尔曼 ,  W·朔恩 ,  张翔

IPC: B65G43/02

CPC classification number: B65G43/00 ,  B65G43/02 ,  B65G2203/0275 ,  B65G2203/041 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/94 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2021/8905 ,  G06K9/2036

Abstract: 本发明涉及一种用于确定传送带表面的状态的方法。设置了光学系统，以确定移动的传送带上的表面的状态，从而至少两个偏振面同时被由传送带的表面反射的光检测，并且通过考虑检测的偏振面来确定表面的状态。

公开(公告)号：CN105806847A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201610151397.3

申请日：2016-03-16

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

Inventor： 宋志明 ,  罗少先 ,  王珏

IPC: G01N21/89

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2021/8905

Abstract: 本发明公开了一种基板的检测装置，由于在光发射器与光反射器之间以及光接收器与光反射器之间分别增设第一偏振片和第二偏振片，两偏振片的透光轴方向互不平行，光反射器具有偏振转换作用，这样，在光发射器发出的光经过第一偏振片后入射到基板上的金属走线时，一部分光线被金属走线反射至第二偏光片，另一部分光线入射到光反射器，被金属走线反射的光由于没有经过光反射器发生偏振转换会被第二偏振片吸收而不会进入光接收器，入射到光反射器的光被反射后偏振方向发生转变可以经过第二偏振片被光接收器接收，这样，可以避免由于被金属走线反射的光进入光接收器而导致误判，从而可以准确检测基板的边缘是否存在破损。

公开(公告)号：CN102132148A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200980133544.2

申请日：2009-07-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 金子静则 ,  夜久昌司 ,  儿玉孝太郎

IPC: G01N21/958

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N21/896 ,  G01N2021/8905

Abstract: 对从第一线状光源照射并通过板状体的透射光利用第一摄像机拍摄明场图像时，在第一摄像机的透射光的光路中的位于第一摄像机前方的位置上设置刀刃状的光路屏蔽部件。从拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域，判别在板状体是否存在缺陷区域。

公开(公告)号：CN101790679A

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200880104499.3

申请日：2008-08-22

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 大音仁昭

IPC: G01N21/958 ,  G01B11/22

CPC classification number: G01N21/00 ,  G01N21/896 ,  G01N21/94 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2021/8967

Abstract: 本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度(E、F)来进行检测的方法，该亮度(E、F)是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体(1)内部的微小异物(4)进行照射的光束(2)的散射等而产生的，其特征在于，使光束(2)相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束(I)和由该内部光束(I)在透明板体表面反射而成的内部光束(II)，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动(沿(G)方向)，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物(4)由上述内部光束(I)照射而产生的亮点(E)和由上述内部光束(II)照射而产生的亮点(F)，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。

公开(公告)号：CN103363896B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201310108098.8

申请日：2013-03-29

Applicant: 东京特殊电线株式会社

Inventor： 木内和昭 ,  小相泽久 ,  皆瀬十三夫 ,  高木俊英

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/14 ,  G01N21/88 ,  H01B13/00 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01B11/2433 ,  G01N2021/8905

Abstract: 本发明提供层叠体的检查方法、层叠体检查装置以及层叠体制造装置。当使光从带有加强板的扁型电缆的第一面侧照射于带有加强板的扁型电缆时，在带有加强板的扁型电缆的第二面侧，除正确地制作导体的影像以及加强板的影像的第一光强度外，以正确地制作带有加强板的扁型电缆的窗部的边缘的影像的第二光强度，使光从带有加强板的扁型电缆的第一面侧照射于带有加强板的扁型电缆，从第二面侧拍摄透过图像，解析透过图像并进行边距以及加强板位置的检查。通过第一光强度的光检测导体的位置以及加强板的位置，通过第二光强度的光检测窗部的边缘。通过一组照相机和照明以及一个图像解析装置，进行带有加强板的扁型电缆的导体以及加强板以及边缘位置的检查。

公开(公告)号：CN102132148B

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN200980133544.2

申请日：2009-07-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 金子静则 ,  夜久昌司 ,  儿玉孝太郎

IPC: G01N21/958

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N21/896 ,  G01N2021/8905

Abstract: 对从第一线状光源照射并通过板状体的透射光利用第一摄像机拍摄明场图像时，在第一摄像机的透射光的光路中的位于第一摄像机前方的位置上设置刀刃状的光路屏蔽部件。从拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域，判别在板状体是否存在缺陷区域。

公开(公告)号：CN101790679B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN200880104499.3

申请日：2008-08-22

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 大音仁昭

IPC: G01N21/958 ,  G01B11/22

CPC classification number: G01N21/00 ,  G01N21/896 ,  G01N21/94 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2021/8967

Abstract: 本发明提供一种检测透明板体内部的微小异物的方法及其装置，稳定地检测透明板体内部的遮光性的微小异物，且获得微小异物深度的信息。该方法是通过测量亮度(E、F)来进行检测的方法，该亮度(E、F)是由对存在于具有均匀的折射率的恒定厚度的透明板体(1)内部的微小异物(4)进行照射的光束(2)的散射等而产生的，其特征在于，使光束(2)相对于透明板体的厚度方向以规定的倾斜角度进入到透明板体内部，在透明板体内部形成进入的内部光束(I)和由该内部光束(I)在透明板体表面反射而成的内部光束(II)，不改变上述光束的进入角度地使透明板体和光束相对移动(沿(G)方向)，从透明板体的厚度方向分别检测同一微小异物(4)由上述内部光束(I)照射而产生的亮点(E)和由上述内部光束(II)照射而产生的亮点(F)，从而判断上述微小异物在透明板体中的位置。

公开(公告)号：CN101063663B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200710101110.7

申请日：2007-04-26

Applicant: 西门子公司

Inventor： W·海恩 ,  D·斯普里格尔 ,  M·斯托克曼 ,  M·韦伯

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/88 ,  G01M11/02

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

Abstract: 采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，、前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。