具有铰链的微镜
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101299093A

    公开(公告)日:2008-11-05

    申请号:CN200710186176.0

    申请日:2007-10-26

    IPC分类号: G02B26/08

    CPC分类号: G02B26/0841

    摘要: 一种微镜装置,包括由衬底支撑的铰链和可绕该铰链倾斜的镜板。该铰链包括选自由具有钛成分在大约30%和70%之间的钛-镍合金、钛成分在大约30%和70%之间的钛-铝合金、铜成分在大约5%和20%之间的铝-铜合金、以及氮成分在大约0和15%之间的铝钛氮化物组成的组中的一种合金。