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公开(公告)号:CN106575532B
公开(公告)日:2018-07-13
申请号:CN201580043325.0
申请日:2015-07-24
申请人: 诺信公司
CPC分类号: G21K5/04 , G21K1/00 , H01J65/044 , H05B41/24 , H05B41/2806 , Y02B20/22
摘要: 用于辐照衬底(26)的UV系统(10)包括具有罩壳的灯头(16),所述罩壳具有内部。UV灯泡(24)定位在所述内部中,并且能够在被RF能量激发时发射UV能量。所述UV系统(10)还包括能够生成所述RF能量的固态RF源(12)。RF能量被传送到所述UV灯泡(24),这导致所述UV灯泡(24)点燃并且从所述灯头(16)的所述内部发射UV能量。
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公开(公告)号:CN106575532A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201580043325.0
申请日:2015-07-24
申请人: 诺信公司
CPC分类号: G21K5/04 , G21K1/00 , H01J65/044 , H05B41/24 , H05B41/2806 , Y02B20/22
摘要: 用于辐照衬底(26)的UV系统(10)包括具有罩壳的灯头(16),所述罩壳具有内部。UV灯泡(24)定位在所述内部中,并且能够在被RF能量激发时发射UV能量。所述UV系统(10)还包括能够生成所述RF能量的固态RF源(12)。RF能量被传送到所述UV灯泡(24),这导致所述UV灯泡(24)点燃并且从所述灯头(16)的所述内部发射UV能量。
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