公开(公告)号：CN107209204B

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201680006360.X

申请日：2016-01-27

申请人： 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司

发明人： S·柯尼希 ,  P·莱因菲尔德

IPC分类号： G01P15/125

摘要： 本发明涉及一种加速度传感器(100)，包括：传感器质量块(120)，其借助弹簧元件(130)沿运动轴线(x)可动地支承在基板(110)上；第一微调电极(140)，其与传感器质量块(120)连接；和第二微调电极(150)，其与基板(110)连接并且配置给第一微调电极(140)。在此在传感器质量块沿运动轴线偏移时通过弹簧元件(130)产生作用于传感器质量块(120)的弹力并且在传感器质量块(120)偏移时通过在第一微调电极(140)和第二微调电极(150)之间施加微调电压产生作用于传感器质量块(120)的静电力，该静电力反作用于弹力。

公开(公告)号：CN107209204A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680006360.X

申请日：2016-01-27

申请人： 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司

发明人： S·柯尼希 ,  P·莱因菲尔德

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0054 ,  B81B3/0059 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/051 ,  G01P15/131 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0862 ,  G01P2015/0882

摘要： 本发明涉及一种加速度传感器(100)，包括：传感器质量块(120)，其借助弹簧元件(130)沿运动轴线(x)可动地支承在基板(110)上；第一微调电极(140)，其与传感器质量块(120)连接；和第二微调电极(150)，其与基板(110)连接并且配置给第一微调电极(140)。在此在传感器质量块沿运动轴线偏移时通过弹簧元件(130)产生作用于传感器质量块(120)的弹力并且在传感器质量块(120)偏移时通过在第一微调电极(140)和第二微调电极(150)之间施加微调电压产生作用于传感器质量块(120)的静电力，该静电力反作用于弹力。