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公开(公告)号：CN107209204A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680006360.X
申请日：2016-01-27
申请人： 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0054 , B81B3/0059 , B81B2201/0235 , B81B2203/0163 , B81B2203/04 , B81B2203/051 , G01P15/131 , G01P2015/0814 , G01P2015/0862 , G01P2015/0882
摘要： 本发明涉及一种加速度传感器(100)，包括：传感器质量块(120)，其借助弹簧元件(130)沿运动轴线(x)可动地支承在基板(110)上；第一微调电极(140)，其与传感器质量块(120)连接；和第二微调电极(150)，其与基板(110)连接并且配置给第一微调电极(140)。在此在传感器质量块沿运动轴线偏移时通过弹簧元件(130)产生作用于传感器质量块(120)的弹力并且在传感器质量块(120)偏移时通过在第一微调电极(140)和第二微调电极(150)之间施加微调电压产生作用于传感器质量块(120)的静电力，该静电力反作用于弹力。
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公开(公告)号：CN101300913A
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：CN200580038714.0
申请日：2005-11-10
申请人： 阿纳洛格装置公司
IPC分类号： H05K7/02 , H05K7/06 , H05K7/08 , H05K7/10 , H01L23/31 , H01L25/065 , H01L23/367 , H01L23/28
CPC分类号： H01L24/81 , B81B3/0059 , B81B2201/0264 , H01L23/13 , H01L2224/81801 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/15151 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/30105 , H01L2924/00
摘要： 本发明涉及带间隔、带凸块部件结构。提供一种带间隔、带凸块部件结构，该带间隔、带凸块部件结构包括：第一板；与第一板隔开第一间隙的第二板；使各个板互连并限定第一间隙的多个焊料凸块；这些板中的至少一个具有包含用于限定尺寸与第一间隙不同的第二间隙的升高平台和凹槽中的一个的不规则部分。
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公开(公告)号：CN101049045A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200580036791.2
申请日：2005-10-24
申请人： 皇家飞利浦电子股份有限公司
发明人： 彼得·G·斯蒂尼肯 , 约瑟夫·托马斯·马蒂纳斯·范贝克 , 特奥·里克斯
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/0059 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , H01G5/16 , H01H2001/0084
摘要： 一种微机电器件，含有基板(10)、可移动装置，可移动装置能够在电极静电力的作用下向基板移动，可移动装置和基板的相对表面的形状使得当其在闭合位置时，通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC)，配置使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面，从而进入或离开位于相对表面之间的区域。该通道可以使可移动装置的移动流体阻尼受控。增加进入或离开相对表面之间区域的流量，可以减少该阻尼，并且因此增加了器件打开和闭合的速度。该通道可以与电极的孔相连。
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公开(公告)号：CN104977103B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201510161531.3
申请日：2015-04-07
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
发明人： D.哈默施密特
IPC分类号： G01L1/14
CPC分类号： G01L9/0072 , B81B3/0059 , G01L1/086 , G01L1/144
摘要： 用于压力传感器的力反馈环路。压力传感器系统包括力反馈环路。力反馈环路被配置成接收测量压力传感器信号并基于测量压力和静电力而生成反馈信号。基于反馈信号而生成静电力并将其与测量力组合，保持所得到的传感器信号稳定。
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公开(公告)号：CN103718304B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201280026057.8
申请日：2012-06-01
申请人： 国际商业机器公司
IPC分类号： H01L29/84
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0021 , B81B3/0059 , B81B3/0072 , B81B7/0006 , B81B7/008 , B81B2201/016 , B81B2203/0163 , B81C1/00015 , B81C1/0015 , B81C1/00476 , G06F17/5045 , H01L41/094 , H01L41/1134 , H01L41/1138 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908 , Y10T29/49121
摘要： 提供微机电系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。形成MEMS结构的方法包括在基板（10）上形成配线层（14），包括致动器电极（115）和接触电极（110）。该方法还包括在配线层（14）上方形成MEMS梁（100）。该方法还包括形成附着到MEMS梁（100）的至少一端的至少一个弹簧（200）。该方法还包括在配线层（14）和MEMS梁（100）之间形成微型凸块（105’）的阵列。
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公开(公告)号：CN106185782A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610817051.2
申请日：2016-09-12
申请人： 桂林电子科技大学
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0059
摘要： 本发明公开一种面向可延展电子的柔性基底，包括薄膜基底、岛屿和沟槽；每个岛屿均呈多边形棱柱状；所有岛屿在薄膜基底的至少一侧表面上呈蜂窝状阵列排布；岛屿与岛屿之间由沟槽分隔开；功能器件粘附在岛屿的上方，连接导线藏于岛屿间的沟槽内，连接导线与功能器件电学连接。本发明不但可以实现轴向拉伸、弯曲、扭曲等可延展性能，而且打破了传统可延展电子功能元器件表面占有率低和应力过集中的弊端，拥有更高的功能器件有效表面占有率，提高可延展电子产品工作效率，并能够更好地对功能器件进行保护。
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公开(公告)号：CN103718304A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280026057.8
申请日：2012-06-01
申请人： 国际商业机器公司
IPC分类号： H01L29/84
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0021 , B81B3/0059 , B81B3/0072 , B81B7/0006 , B81B7/008 , B81B2201/016 , B81B2203/0163 , B81C1/00015 , B81C1/0015 , B81C1/00476 , G06F17/5045 , H01L41/094 , H01L41/1134 , H01L41/1138 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908 , Y10T29/49121
摘要： 提供微机电系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。形成MEMS结构的方法包括在基板（10）上形成配线层（14），包括致动器电极（115）和接触电极（110）。该方法还包括在配线层（14）上方形成MEMS梁（100）。该方法还包括形成附着到MEMS梁（100）的至少一端的至少一个弹簧（200）。该方法还包括在配线层（14）和MEMS梁（100）之间形成微型凸块（105’）的阵列。
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公开(公告)号：CN101300913B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN200580038714.0
申请日：2005-11-10
申请人： 阿纳洛格装置公司
IPC分类号： H05K7/02 , H05K7/06 , H05K7/08 , H05K7/10 , H01L23/31 , H01L25/065 , H01L23/367 , H01L23/28
CPC分类号： H01L24/81 , B81B3/0059 , B81B2201/0264 , H01L23/13 , H01L2224/81801 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/15151 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/30105 , H01L2924/00
摘要： 本发明涉及带间隔、带凸块部件结构。提供一种带间隔、带凸块部件结构，该带间隔、带凸块部件结构包括：第一板；与第一板隔开第一间隙的第二板；使各个板互连并限定第一间隙的多个焊料凸块；这些板中的至少一个具有包含用于限定尺寸与第一间隙不同的第二间隙的升高平台和凹槽中的一个的不规则部分。
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公开(公告)号：CN102089700A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200980126630.0
申请日：2009-07-09
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 童叶俊
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0008 , B81B3/0059 , B81B2201/047 , G02B26/0841
摘要： 本发明涉及减轻机电装置中的静摩擦。在一些实施例中，机电装置可具备一个或一个以上提供用于减轻静摩擦的辅助机械力的回复部分。所述回复部分可实施为一个或一个以上可偏转元件，其中所述可偏转元件可具有各种配置或形状，例如人字形、十字形等等。举例来说，所述回复部分可为悬臂，其在至少一个组件接触或靠近另一组件时偏转。也可使用多个回复部分，且战略上将其放置于所述机电装置内，以使其在减轻静摩擦方面的有效性增至最大。
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公开(公告)号：CN103502139B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201280019348.4
申请日：2012-04-19
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 威利布罗德·杰拉杜斯·玛丽亚·凡登豪克 , 罗伯托·彼得勒斯·范-卡普恩 , 理查德·L·奈普 , 查尔斯·G·史密斯
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： H01L29/84 , B81B3/0059 , B81B7/0035 , B81B2203/0127 , B81C1/00285 , B81C1/00293 , B81C1/00682
摘要： 本发明通常涉及用于通过凭借将气体引入到包围MEMS设备的切换元件的腔体中来降低切换时的冲击速度来延长MEMS设备的寿命的方法。利用将离子注入到在容纳切换元件的腔体附近并经由通道连接到该腔体的腔体中来引入所述气体，气体可以通过所述通道从一个腔体流动到另一个腔体。注入能量选择为将许多原子注入靠近腔体的内顶部和底部，使得退火时那些原子扩散进入腔体内。气体提供降低切换MEMS设备的动能的气体阻尼，于是所述切换MEMS设备应具有更长的寿命。
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