公开(公告)号：CN206652487U

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201720191381.5

申请日：2017-03-01

申请人： 财团法人工业技术研究院

发明人： 卢俊安 ,  蔡苑铃 ,  陈炯雄 ,  吴易真 ,  林士钦

IPC分类号： B01J19/14 ,  B01J19/08 ,  B82Y40/00

CPC分类号： B01J19/088 ,  B01J19/129 ,  B01J2219/0809 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0898

摘要： 本实用新型公开一种无机粉体制作装置以及无机粉体制作与分级装置，其中的无机粉体制作装置包括绝缘管、至少一对环状射频电极与气体供应装置。所述对环状射频电极环绕于绝缘管的外周配置，以于通电后在绝缘管外产生第一电场区并于绝缘管内产生具有等离子体焰炬的第二电场区。气体供应装置则对绝缘管内供应反应雾体与惰性气体，以使反应雾体通过上述等离子体焰炬而被热裂解及氧化成无机粉体。