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公开(公告)号:CN103151307A
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN201210025902.1
申请日:2012-02-07
申请人: 财团法人工业技术研究院
CPC分类号: H01L31/18 , B28D5/00 , H01L31/0463 , Y02E10/50 , Y10T83/0304
摘要: 本发明公开一种渠道刻划装置以及渠道刻划方法,其用以对基材进行渠道刻划。所述装置包括平台、导杆结构、支撑载具以及针具装置。导杆结构位于平台上。支撑载具固定于导杆结构上,其中基材放置于支撑载具上。针具装置位于支撑载具的上方,其中所述针具装置包括针具固持件以及固定在针具固持件上的多个针具,且所述针具排列成至少一直线。
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公开(公告)号:CN103151307B
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201210025902.1
申请日:2012-02-07
申请人: 财团法人工业技术研究院
CPC分类号: H01L31/18 , B28D5/00 , H01L31/0463 , Y02E10/50 , Y10T83/0304
摘要: 本发明公开一种渠道刻划装置以及渠道刻划方法,其用以对基材进行渠道刻划。所述装置包括平台、导杆结构、支撑载具以及针具装置。导杆结构位于平台上。支撑载具固定于导杆结构上,其中基材放置于支撑载具上。针具装置位于支撑载具的上方,其中所述针具装置包括针具固持件以及固定在针具固持件上的多个针具,且所述针具排列成至少一直线。
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