公开(公告)号：CN110287653A

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201910716004.2

申请日：2019-08-05

申请人： 贵州中科汉天下微电子有限公司

发明人： 赖志国 ,  唐兆云 ,  蔡洵 ,  吴昊鹏 ,  杨清华 ,  赖亚明 ,  吴永乐 ,  王卫民

IPC分类号： G06F17/50 ,  H03H9/00 ,  H03H9/02

摘要： 本发明提供了一种体声波谐振器纵波模式下材料参数的提取方法，该提取方法包括：构建体声波谐振器的Mason模型；对Mason模型进行简化处理以得到体声波谐振器的SIR模型，SIR模型的谐振频率仅与体声波谐振器的材料参数和结构参数有关、且SIR模型的谐振频率与Mason模型的并联谐振频率相等；建立SIR模型的谐振频率与体声波谐振器的材料参数以及结构参数之间关系式；测量得到多个体声波谐振器的并联谐振频率以及结构参数；根据关系式、以及测量得到的并联谐振频率和结构参数拟合得到体声波谐振器的材料参数。实施本发明可以准确提取出体声波谐振器的材料参数，且操作简单、成本低廉。