公开(公告)号：CN104037244B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201410267305.9

申请日：2014-06-17

Applicant: 辽宁工业大学

Inventor： 唐立丹 ,  王冰 ,  冯嘉恒 ,  王建中

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种晶硅太阳能电池钝化材料Al2O3浓度梯度掺杂ZnO薄膜及制备方法，通过原子沉积在硅片表面进行Al2O3沉积以形成厚度为1nm～10nm的Al2O3层；然后继续在Al2O3层上进行n1次的ZnO沉积，然后进行1次Al2O3沉积，完成一次Al2O3掺杂ZnO沉积；按照上述Al2O3掺杂ZnO沉积的方式重复沉积，其中当次ZnO沉积的次数比前一次ZnO沉积多沉积一次，以形成厚度为30nm~100nmAl2O3浓度梯度掺杂ZnO层；沉积结束后，取出硅片，进行退火，得到晶硅太阳能电池钝化薄膜。优点是：薄膜设计合理，制备过程容易操作，对晶硅太阳能电池具有优良的钝化效果，电池光电转化效率高。

公开(公告)号：CN104037244A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410267305.9

申请日：2014-06-17

Applicant: 辽宁工业大学

Inventor： 唐立丹 ,  王冰 ,  冯嘉恒 ,  王建中

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/1868

Abstract: 一种晶硅太阳能电池钝化材料Al2O3浓度梯度掺杂ZnO薄膜及制备方法，通过原子沉积在硅片表面进行Al2O3沉积以形成厚度为1nm～10nm的Al2O3层；然后继续在Al2O3层上进行n1次的ZnO沉积，然后进行1次Al2O3沉积，完成一次Al2O3掺杂ZnO沉积；按照上述Al2O3掺杂ZnO沉积的方式重复沉积，其中当次ZnO沉积的次数比前一次ZnO沉积多沉积一次，以形成厚度为30nm~100nmAl2O3浓度梯度掺杂ZnO层；沉积结束后，取出硅片，进行退火，得到晶硅太阳能电池钝化薄膜。优点是：薄膜设计合理，制备过程容易操作，对晶硅太阳能电池具有优良的钝化效果，电池光电转化效率高。