公开(公告)号：CN1454121A

公开(公告)日：2003-11-05

申请号：CN00819648.6

申请日：2000-06-19

申请人： 迈克里斯公司

发明人： 约翰·E·皮利恩 ,  罗伯特·F·麦克洛克林 ,  徐介华

IPC分类号： B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  G01F3/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： G01F11/00 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05C11/1005 ,  G01F3/00

摘要： 一种用于确定流体分配的可接受性的方法和系统，如用于确定涂覆基体的分散体积的液体(30)的可接受性。流体分配暴露于一能量源(16，24)，对由流体分配传递的能量进行检测，以确定流体分配的形状。将流体分配形状和分配开始和结束的定时与事先产生的标准分配轮廓进行对比，用于确定流体分配的形状和/或定时的可接受性。来自传感器(18，26)的输出用于控制对基体的进一步加工。