公开(公告)号：CN1210975A

公开(公告)日：1999-03-17

申请号：CN98115544.8

申请日：1996-03-28

Applicant: 迪维安公司

Inventor： 伊凡·普里克里尔 ,  霍利斯·奥尼尔·霍尔II

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J9/02

Abstract: 通过比较测试光束和参考光束来确定在源光束中的象差的可调光学系统,包括:测试光源;波阵面分析器;和干涉仪,其包括:将源光束分成测试光束和参考光束的分束器;成像装置;反射镜,将测试光束反射到成像装置上;微反射镜,将参考光束的中央部分反射到成像装置上并让参考学束的外围部分由此通过;用来收集和探测参考光束的所述外围部分的对光图像装置;和将参考光束会聚在微反射镜之上的聚焦装置,微反射镜的横向尺寸不超过由聚焦装置聚焦其上的参考光束的中心波瓣的大致横向尺寸。

公开(公告)号：CN1075630C

公开(公告)日：2001-11-28

申请号：CN96102997.8

申请日：1996-03-28

Applicant: 迪维安公司

Inventor： 伊凡·普里克里尔 ,  霍利斯·奥尼尔·霍尔Ⅱ

IPC: G01J3/453 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J9/02

Abstract: 一种干涉仪，包括：将光源分为测试与参考光束的分束器，探测干涉图样的图象装置，测试光束反射镜，参考光束微反射镜，参考光束聚焦装置，和对光探测器。微反射镜的横向尺寸小于参考光束中心波瓣的横向尺寸，空间滤光器用以减少象差，包括置于透明基体上的反射器，反射器横向尺寸小于会聚其上的光束空间强度分布中心波瓣的横向尺寸。还提供一种在该测试系统中的滤光方法。可消除象差影响，并且在对光操作中不必改变干燥仪的配置。

公开(公告)号：CN1153297A

公开(公告)日：1997-07-02

申请号：CN96102997.8

申请日：1996-03-28

Applicant: 迪维安公司

Inventor： 伊凡·普里克里尔 ,  霍利斯·奥尼尔·霍尔II

IPC: G01J3/45 ,  G02B5/20

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J9/02

Abstract: 一种光束测试干涉仪，包括：将光源分为测试与参考光束的分束器，探测干涉图样的图象装置，测试光束反射镜，参考光束微反射镜，和参考光束聚焦装置。微反射镜的横向尺寸小于参考光束中心波瓣的横向尺寸，空间滤光器用以减少象差，包括置于透明基体上的反射器，反射器横向尺寸小于会聚其上的光束空间强度分布中心波瓣的横向尺寸。还提供一种在该测试系统中的滤光方法。本发明可消除象差影响，并且在对光操作中不必改变干涉仪的配置。